[实用新型]一种尾气回收系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，特别涉及一种尾气回收系统。

背景技术

传统的多晶硅生产工艺中，由三氯氢硅合成装置、三氯氢硅氢还原装置和四氯化硅氢还原装置所产生的反应尾气均输送至尾气回收系统进行回收利用，以达到节能降耗的目的。多晶硅反应尾气主要包括气相氢气、氯化氢、氯硅烷和固体硅粉颗粒，所述氯硅烷包括二氯二轻硅、三氯氢硅、四氯化硅，其中固体硅粉颗粒来源于三氯氢硅合成装置带来的未反应的硅粉颗粒及三氯氢硅氢还原过程中产生的硅粉颗粒。

现有的尾气回收系统主要包括：解析塔、屏蔽泵和吸收塔，屏蔽泵包括屏蔽泵本体和屏蔽泵驱动装置，屏蔽泵驱动装置能够驱动屏蔽泵本体工作。反应尾气中的氯硅烷经过冷凝处理后，得到氯硅烷溶液，反应尾气中的固体硅粉颗粒进入到该氯硅烷溶液中，含有固体硅粉颗粒的氯硅烷溶液经由解析塔进入屏蔽泵本体，再由屏蔽泵本体进入吸收塔。反应尾气中未经冷凝处理的氢气、氯化氢和固体硅粉颗粒也进入吸收塔，在吸收塔内，利用液态氯硅烷吸收氯化氢，从而将氢气分离出来，得到含有固体硅粉颗粒的氯化氢与氯硅烷混合溶液。该混合溶液再次输送至解析塔，以将上述混合溶液中的氯化氢解析出来，则在解析塔中剩余含有固体硅粉颗粒的氯硅烷溶液。

解析塔通过一路管线将含有固体硅粉颗粒的氯硅烷溶液输送至屏蔽泵驱动装置内，用以为屏蔽泵驱动装置内的轴承降温润滑，并通过另一路管线将含有固体硅粉颗粒的氯硅烷溶液输送至屏蔽泵本体，再由屏蔽泵本体输送至吸收塔，以再次吸收氯化氢，如此循环。

由于输送至屏蔽泵驱动装置内的液态氯硅烷中含有一定量的固体硅粉颗粒，而固体硅粉颗粒会附着在屏蔽泵驱动装置的轴承上，逐渐磨损轴承，导致故障率增加，甚至缩短屏蔽泵的使用寿命。

因此，亟需一种尾气回收系统以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种尾气回收系统，用以解决屏蔽泵故障率高、使用寿命短的问题。

本实用新型为解决上述技术问题，采用如下技术方案：

本实用新型提供一种尾气回收系统，屏蔽泵，屏蔽泵包括屏蔽泵本体和用于为屏蔽泵本体提供动力的屏蔽泵驱动装置，所述系统还包括用于向屏蔽泵驱动装置输送不含颗粒杂质的润滑液供给装置，润滑液供给装置与设置于屏蔽泵驱动装置的一端的屏蔽泵第一入口相连；

屏蔽泵驱动装置能够利用润滑液供给装置输送的润滑液润滑并降温，并将所述润滑液从屏蔽泵驱动装置的另一端输送至屏蔽泵本体；

屏蔽泵本体能够输出屏蔽泵驱动装置输送的润滑液。

优选的，所述润滑液供给装置包括：缓冲罐和润滑液源，缓冲罐通过第一润滑液输送管线与润滑液源相连，并通过第二润滑液输送管线与屏蔽泵第一入口相连，能够借助第一润滑液输送管线接收润滑液源输送的润滑液并存储，以及，将存储的润滑液借助第二润滑液输送管线从缓冲罐输送至屏蔽泵驱动装置。

优选的，所述第一润滑液输送管线上设置有第一阀门，第二润滑液输送管线上设置有第二阀门。

优选的，当所述缓冲罐内存储的润滑液的液位大于或等于预设的第一阈值时，所述第二阀门处于开启状态，所述缓冲罐能够将存储的润滑液借助第二润滑液输送管线输送至屏蔽泵驱动装置；当所述缓冲罐内存储的润滑液的液位小于所述第一阈值时，所述第二阀门处于关闭状态。

优选的，所述第一阈值为40-60％。

优选的，所述第二润滑液输送管线内的润滑液的流量为4-6m³/h；所述第二润滑液输送管线内的润滑液的流量大小能够通过控制所述第二阀门的开度实现。

进一步的，所述润滑液供给装置还包括气源和气体输送管线，气体输送管线与缓冲罐的顶部相连，气源能够借助气体输送管线向所述缓冲罐输送气体，以增加缓冲罐内的压力，辅助缓冲罐向屏蔽泵驱动装置输送润滑液。

优选的，当所述第二阀门处于开启状态时，所述缓冲罐内的压力大于或等于1.2MPa。

优选的，所述缓冲罐内的压力大小和所述第二润滑液输送管线内的润滑液的流量大小，能够通过控制所述气源向所述缓冲罐输送的气体的流量实现。

优选的，所述气源采用电解氢气或尾气回收氢气；所述润滑液采用四氯化硅。

本实用新型具有如下有益效果：