[实用新型]一种气相二氧化硅表面处理装置

权利要求书

1.一种气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，包括：

汽化器，用于将液态的硅烷类表面处理剂汽化；

混合器，与所述汽化器连接，所述混合器上有载气输入口，所述混合器用于将输入的汽化的硅烷类表面处理剂与载气混合；

反应器，与所述混合器连接，所述反应器内具有加热装置用于加热，使得输入的在所述载气中的汽化的硅烷类表面处理剂与气相二氧化硅逆向流动进行反应，得到经过汽化的硅烷类表面处理剂处理的气相二氧化硅；

成品料仓，与所述反应器连接，所述成品料仓用于接收所述经过汽化的硅烷类表面处理剂处理的气相二氧化硅；

冷凝器，与所述反应器连接，所述冷凝器用于将从所述反应器流出的尾气中的汽化的硅烷类表面处理剂冷凝回收。

2.根据权利要求1所述的气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，所述反应器为流化床反应器。

3.根据权利要求1所述的气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，所述冷凝器的冷凝温度为-20～-35℃，所述冷凝器内的压力为0.1～0.5Mpa。

4.根据权利要求1所述的气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，还包括：袋滤器，分别与所述反应器、所述冷凝器连接，所述袋滤器用于将从所述反应器流出的尾气中的气相二氧化硅过滤掉，过滤后的尾气再输送到所述冷凝器。

5.根据权利要求1所述的气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，还包括：一级氯硅烷淋洗塔，与所述冷凝器连接，所述一级氯硅烷淋洗塔用于通过氯硅烷淋洗液将所述冷凝器内未被冷凝的汽化的硅烷类表面处理剂吸收掉。

6.根据权利要求5所述的气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，还包括：二级淋洗塔，与所述一级氯硅烷淋洗塔连接，所述二级淋洗塔用于通过水洗将从所述一级氯硅烷淋洗塔流出的尾气中的氯化氢吸收掉。

7.根据权利要求1所述的气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，还包括：第一输送器，分别与所述反应器、所述成品料仓连接，所述第一输送器用于将所述反应器内所述经过汽化的硅烷类表面处理剂处理的气相二氧化硅送入到所述成品料仓内。

8.根据权利要求4所述的气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，还包括：第二输送器，分别与所述袋滤器、所述成品料仓连接，所述第二输送器用于将经过所述袋滤器过滤后的经过汽化的硅烷类表面处理剂处理的气相二氧化硅送入到所述成品料仓内。