[实用新型]一种微电子行业用自动涂胶装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种注胶机，特别适合用于微电子行业的注胶工艺。

背景技术

微电子技术作为电子信息产业的核心技术之一，已经成为现代电子信息技术，尤其是计算机和通讯技术发展的驱动力。为了在新的科技革命中迎头赶上西方发达国家，必须在微电子技术领域取得快速的发展。

注胶是微电子行业十分常用的工艺步骤。目前现有的注胶设备要么结构简陋，自动化程度低，工人劳动强度大；要么结构复杂，成本高昂，不利于推广。

发明内容

本实用新型的目的在于，克服上述现有技术的缺陷，提供一种微电子行业用自动涂胶装置，结构简单，自动化程度高。

上述目的由下述技术方案来实现：本实用新型提供的微电子行业用自动涂胶装置，具有机架、固定在机架上的注胶机和匀胶机，其特征在于：所述注胶机包括：点胶针筒、驱动机构、进胶管以及储胶室，所述驱动电机的输出头与点胶针筒的推杆后端固定，所述点胶针筒的下部连接进胶管的第一端，进胶管的第二端与储胶室相连，所述进胶管内设置有第一单向阀，所述点胶针筒的注胶口设置有第二单向阀；所述匀胶机包括用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的旋转电机，吸盘的中线轴位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，所述吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为3-5mm。

本实用新型还具有如下改进：

1、所述驱动机构为步进电机，步进电机的输出头依次通过连杆、摇臂与点胶针筒的推杆后端固定。

2、所述驱动机构为伸缩电机，伸缩电机的伸缩杆端部与点胶针筒的推杆后端固定。 

3、所述驱动机构为马达，马达的输出头固定有齿轮，所述齿轮啮合有齿条，齿条的下端与点胶针筒的推杆后端固定。

4、所述驱动机构为伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞杆头部与点胶针筒的推杆后端固定。

5、所述进胶管和储胶室内填充有胶水。

6、所述吸盘的横截面呈W型。

7、所述储胶槽的深度为8-12mm。

8、靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为75-85°，远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为55-65°。

驱动机构下压点胶针筒的推杆时，第一单向阀关闭，第二单向阀打开，使胶水从注胶口被挤出，滴至硅片上表面；当驱动机构上抬点胶针筒的推杆时，第一单向阀打开，第二单向阀关闭，使储胶室内的胶水通过进胶管被吸入点胶针筒内。本实用新型采用甩动方式实现匀胶（表面涂敷），吸气管顶端不直接与承载的硅片接触，在甩动过程中，硅片背面的胶水在重力的作用下流入储胶槽进行存储，阻挡胶水被吸入吸气管内，避免了吸气管因吸入胶水而导致的吸力不足或堵塞，同时避免了损伤匀胶机。

本装置可实现自动注胶、自动补胶、自动匀胶，且能防止胶水进入吸盘的吸气管。其自动化程度高，大大降低劳动强度，且每次注胶的量都一致，减少浪费，降低生产成本，减少对环境的污染。

    本实用新型结构简单、设计巧妙，使用方便，且易于维护。本装置的生产成本低，功能可满足实际生产需要，适于在微电子行业广泛运用。

附图说明

图1 是本实用新型自动涂胶装置的结构示意图。

具体实施方式

如图1所述，本实施例微电子行业用自动涂胶装置，具有机架（图中未画出），固定在机架上的注胶机A和匀胶机B。

注胶机A包括：点胶针筒1、驱动机构、进胶管2以及储胶室3，点胶针筒1的下部连接进胶管2的第一端，进胶管2的第二端与储胶室3相连，进胶管2内设置有第一单向阀6，点胶针筒1的注胶口4设置有第二单向阀5。如图1所示，点胶针筒1、进胶管2和储胶室3内填充有胶水。本例中，驱动机构马达7，马达7的输出头固定有齿轮8，齿轮8啮合有齿条9，齿条9的下端与点胶针筒1的推杆10后端固定。

除此之外，驱动机构还可以采用步进电机、伸缩电机、伸缩气缸等。

当采用步进电机时，步进电机的输出头依次通过连杆、摇臂与点胶针筒的推杆后端固定。

当采用伸缩电机时，伸缩电机的伸缩杆端部与点胶针筒的推杆后端固定。 

当采用为伸缩气缸时，伸缩气缸的活塞杆头部与点胶针筒的推杆后端固定。

由于上述几种方案对于机械领域技术人员来说，阅读本说明书，结合现有技术即可实现，因此本实施例不再对上述几种方案进行详细阐述。

驱动机构下压、抬升推杆了，第一第二单向阀互相配合，实现自动注胶和自动充胶，自动化程度较高。