[实用新型]用于阵列波导光栅全自动对准及封装阵列设备有效
申请号: | 201420389942.9 | 申请日: | 2014-07-15 |
公开(公告)号: | CN203950075U | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 李俊画;马剑 | 申请(专利权)人: | 四川天邑康和通信股份有限公司 |
主分类号: | G02B27/62 | 分类号: | G02B27/62 |
代理公司: | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人: | 张良 |
地址: | 611300 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 阵列 波导 光栅 全自动 对准 封装 设备 | ||
1.一种用于阵列波导光栅全自动对准及封装阵列设备,包括设备机架,所述机架下部为控制区域,该控制区域内设置有电控箱(15),中部为设置夹具组件及微调设备的操作平台,其特征在于:所述控制区域内还包括与电控箱(15)相邻设置并连接的主控电脑(1)和位移控制器(13),所述夹具组件包括中心夹具(8)、输入夹具(9)以及输出夹具(10),微调设备包括上方微调台(7)、左微调台(11)和右微调台(12),操作平台上还设有主显示器(2)和相机显示器(3),机架顶部设有传感器(4)、光源功率计(5),光源功率计(5)通过功率计接头(6)连接主控电脑(1)。
2.根据权利要求1所述的用于阵列波导光栅全自动对准及封装阵列设备,其特征在于:所述机架上部还包括一个从电脑接收信号控制上方轴微调台的微调台控制器(14)。
3.根据权利要求1或2所述的用于阵列波导光栅全自动对准及封装阵列设备,其特征在于:所述左微调台(11)和右微调台(12)均为六轴微调台,分别为X,Y,Z,ThX,ThY,ThZ六轴。
4.根据权利要求3所述的用于阵列波导光栅全自动对准及封装阵列设备,其特征在于:所述六轴微调台中的X,Y,Z微调台分辨率0.05um,ThX,ThY,ThZ微调台分辨率0.00016度。
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