[实用新型]一种晶圆定位装置

权利要求书

1.一种晶圆定位装置，用于定位晶圆匣中晶圆的位置，所述晶圆匣上端开口且包含两个彼此相对的内侧壁；所述内侧壁上设有若干贯通于所述开口且横向层叠的槽位；所述两个内侧壁上的槽位两两对应并用于承载晶圆；其特征在于，所述晶圆定位装置至少包括：

设置于一支架上且分别沿所述晶圆匣开口处的所述两个内侧壁边缘同步移动的指针；

所述指针相互联动且用于指向所述两两对应的槽位。

2.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述支架包括用于固定所述晶圆匣的两个底座、分别设置于所述两个底座上的平行轨道以及连接在每个轨道上的滑动竖轴；所述滑动竖轴的滑动方向与所述槽位的层叠方向相同；所述两个滑动竖轴通过一位于所述晶圆匣底部的横杆彼此连接；所述两个滑动竖轴的顶端分别与所述指针连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述支架包括用于固定所述晶圆匣的一底座、设置于所述底座上的两个平行轨道以及连接在每个轨道上的滑动竖轴；所述滑动竖轴的滑动方向与所述槽位的层叠方向相同；所述两个滑动竖轴通过一U型杆彼此连接；所述两个滑动竖轴的中点分别固定于所述U型杆的两臂的末端；所述U型杆的横截面与所述滑动竖轴垂直；所述两个滑动竖轴的顶端分别与所述指针连接。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆定位器，其特征在于：所述指针包括指针头和与所述滑动竖杆固定的矩形组件，所述指针头焊接在所述矩形组件的中央，所述矩形组件的两侧与所述滑动竖轴的顶端通过螺丝相互固定。

5.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述两个彼此相对的内侧壁相对于所述晶圆匣外部倾斜角度相同；所述槽位沿水平方向层叠于所述两个内侧壁。

6.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述两个内侧壁上的所述槽位数分别25层。

7.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述晶圆匣的深度大于所述晶圆的直径。