[实用新型]铸造用高效多晶硅锭的坩埚有效
申请号: | 201420404745.X | 申请日: | 2014-07-21 |
公开(公告)号: | CN204022994U | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
发明(设计)人: | 谢建伟 | 申请(专利权)人: | 常州旷达阳光能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213179 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铸造 高效 多晶 坩埚 | ||
1.一种铸造用高效多晶硅锭的坩埚,包括坩埚本体(1),其特征是:在坩埚本体(1)的内壁四周分别设置氮化硅阻隔层(2)和石英或碳化硅形核层(3),氮化硅阻隔层(2)位于石英或碳化硅形核层(3)的内侧,氮化硅阻隔层(2)的厚度在100μm~300μm之间,石英或碳化硅形核层(3)的厚度在20μm~200um之间。
2.根据权利要求1所述的铸造用高效多晶硅锭的坩埚,其特征是:所述的氮化硅阻隔层(2)通过刷涂的方式附着在坩埚本体(1)上,石英或碳化硅形核层(3)通过喷涂的方式附着在氮化硅阻隔层(2)上。
3.根据权利要求1所述的铸造用高效多晶硅锭的坩埚,其特征是:所述的氮化硅阻隔层(2)的氮化硅颗粒的粒径为1μm-3μm,石英或碳化硅形核层(3)的石英或碳化硅颗粒的粒径为10μm-200μm。
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