[实用新型]一种真空离子镀钛炉的靶材接头有效
| 申请号： | 201420413854.8 | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN203976899U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 韩永全 | 申请（专利权）人： | 浙江博海金属制品科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 裴金华 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市德*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子镀 接头 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空离子镀钛炉的靶材接头，包括靶体（1），其特征在于：所述靶体（1）上一体连接基座（2），所述基座（2）内开设一凹孔（3），凹孔（3）侧壁上设置内螺纹（31）；所述基座（2）上开设凹陷部（21）。
2.按权利要求1所述的一种真空离子镀钛炉的靶材接头，其特征在于：所述凹陷部（21）在基座（2）与靶体（1）的连接处设置并且致使基座（2）的表面倾斜。
3.按权利要求2所述的一种真空离子镀钛炉的靶材接头，其特征在于：所述凹陷部（21）的横截面为三角形。
4.按权利要求1所述的一种真空离子镀钛炉的靶材接头，其特征在于：所述凹陷部（21）在基座（2）与靶体（1）的连接处设置并且致使基座（2）的外表面呈圆弧形。
5.按权利要求4所述的一种真空离子镀钛炉的靶材接头，其特征在于：所述凹陷部（21）的横截面为矩形。
6.按权利要求3或5所述的一种真空离子镀钛炉的靶材接头，其特征在于：所述凹陷部（21）以基座（2）的中心轴为中心线，圆周阵列分布。
7.按权利要求6所述的一种真空离子镀钛炉的靶材接头，其特征在于：所述靶体（1）为圆台形。
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