[实用新型]一种设备运行过程中的线缆通断检测保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种设备故障检测装置，尤其涉及一种设备运行过程中的线缆通断检测保护装置。

背景技术

在光刻机系统中，考虑到机械组装和设置现场检测点的问题，光刻机的电机、传感器、光栅尺和板卡等(以下统称为“执行器”)通常都会经过多次的接插件的对插进行连接，才可以在控制终端得到执行器的数据。在光刻机的运行过程中，有时会无法读取到执行器所发送的数据，或者无法对执行器进行正常的供电。造成这一现象的原因可能是终端控制软件发生问题、可能是执行器本身已经损坏、也可能是因为电缆接插件接触不良，或者接插件已经断开等等多种原因导致的。目前遇到此类问题的处理方法是对以上可能性一一进行排查，最先检查项便是线缆接插件的连接情况，鉴于光刻机的机械构造十分复杂，且空间有限，很多接插件的对插位置十分刁钻、需要拆除部分机械件，再由测试人员钻入狭小的空间进行检测，不便捷的同时，也十分浪费时间。若最后检测结果显示不是接插件的连接故障导致信号传输故障和供电故障的话，不但错过了解决问题的第一时间，而且加大了机械人员和电气检测人员的工作量。

同时，就目前技术文档调研表示，对于接插件在机器运行过程中断开的处理方式多为使用蜂鸣器或者LED灯示警，却无任何断电防护措施，这可能造成检测人员在检测过程中的人身伤害，也可能引起由于在接插件断开处，接插件接触了其他导电物质发生短路，对设备造成损坏的后果。同时对检测信号输入端的接插件插件规格有要求，灵活度不高。

因此，如何提供一种可以在第一时间确认设备在运行过程中的信号传输故障和供电故障是否是由于电缆接插件接触不良或者断路造成，并且在接插件断开的情况下对该条线路实施断电保护措施的线缆通断检测保护装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种设备运行过程中的线缆通断检测保护装置，可以在第一时间确认设备在运行过程中的信号传输故障和供电故障是否是由于电缆接插件接触不良或者断路造成，并且在接插件断开的情况下对该条线路实施断电保护。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种设备运行过程中的线缆通断检测保护装置，包括信号源、检测信号回路以及检测信号处理单元，所述信号源向所述检测信号回路的一端发送信号，经所述检测信号回路的传导作用传递至所述回路的另一端，所述检测信号处理单元从所述回路的另一端接收所述发送信号，所述检测信号回路由连接执行器的接插件以及连接线缆组成。

较佳地，最靠近执行器的所述接插件中未使用的两个管脚短接，所述线缆中未使用的2根线分别引向2头接插件中未使用的两个管脚，所述执行器的接插件与所述线缆的一头的接插件配合接插连接。

较佳地，所述检测信号处理单元包括：依次连接的反馈信号接收模块、反馈信号储存模块、反馈信号控制处理模块以及指示灯。

较佳地，所述反馈信号接收模块连接至所述检测信号回路的另一端，并将所述检测信号回路检测到的模拟信号转换为数字信号。

较佳地，所述数字信号通过所述反馈信号储存模块传输至所述反馈信号控制处理模块。

较佳地，所述反馈信号控制处理模块读取所述检测信号回路的信息，并对该信息进行分析处理；处理后的信息由所述指示灯进行指示。

较佳地，一个执行器对应一组相互连接的所述反馈信号接收模块、所述反馈信号储存模块、所述反馈信号控制处理模块以及所述指示灯。

较佳地，所述检测信号处理单元还包括：反馈信号人机操作模块和执行器电源信号控制模块，所述反馈信号人机操作模块的输入端连接至所述反馈信号控制处理模块，所述反馈信号人机操作模块的输出端连接至所述执行器电源信号控制模块和信号源，所述执行器电源信号控制模块的输出端连接至所述执行器的供电端。

较佳地，所述反馈信号控制处理模块读取到的检测信号回路的信息分为三种：读取到连续的高电平信号，则对应执行器的接插件连接牢固；读取到交替变换的高低电平信号，则对应执行器的接插件连接不良；读取到连续的低电平信号，则对应执行器的接插件出现断路。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1.本实用新型可在执行器运行过程中发生数据无法读取和无法对执行器供电情况下，第一时间确定或排除引发故障的原因是否为电缆接插件连接故障。从而加快问题的排查速度，提高工作效率，降低不必要的工作量；

2.利用连接执行器的接插件以及连接线缆构成检测信号回路，使得接插件一旦接触不良就可立即被发现，故而提高了发现问题的效率，使接插件空置管脚利用率最大化；