[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

硅基底，所述硅基底中具有背孔；

位于所述硅基底表面的绝缘层，所述绝缘层中具有第一通孔；

位于所述绝缘层背离所述硅基底一侧的振膜，所述振膜覆盖所述第一通孔；

位于所述振膜背离所述绝缘层一侧的隔离层，所述隔离层中具有与所述第一通孔相对应的第二通孔；

位于所述隔离层背离所述振膜一侧的保护墙，所述保护墙完全覆盖所述隔离层的侧面；

位于所述保护墙背离所述隔离层一侧的背极，所述背极中具有多个间隔排列的穿孔。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述保护墙完全覆盖所述隔离层的侧面和所述隔离层背离所述振膜一侧的表面。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极中的穿孔贯穿所述背极和所述保护墙，延伸至所述第二通孔中。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述保护墙与所述背极的制作材料相同。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述保护墙与所述背极在同一工艺步骤中形成。

6.根据权利要求1-5任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一通孔在所述绝缘层至所述硅基底方向上的投影完全覆盖所述背孔在所述绝缘层至所述硅基底方向上的投影。

7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：完全贯穿所述背极、保护墙、隔离层、振膜和绝缘层的第一凹槽。