[实用新型]一种MEMS麦克风

说明书

技术领域

本实用新型涉及麦克风技术领域，更具体地说，涉及一种MEMS麦克风。

背景技术

近年来，利用MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System，简称MEMS)工艺集成的MEMS麦克风由于具有封装体积小、可靠性高、成本低等优点，本广泛应用于手机、平板电脑、相机、助听器、智能玩具以及监听装置等电子产品中。

MEMS麦克风在声腔的一个开口处设置有相对设置的振膜和背极。所述振膜和背极之间具有间距，所述振膜与背极形成检测电容。不同强度的声音振动导致所述振膜与所述背极之间的声压不同，从而导致所述振膜发生不同程度的振动，进而使得所述检测电容改变，通过声音控制芯片感知所述检测电容的变化，从而实现将声音信号转换为电信号，实现对声音信号的探测。

现有的MEMS麦克风会由于振膜四周与中间振动幅度不同，会导致其与背极之间的声压不均匀，从而影响MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风能够保证背极与振膜之间的声压均匀性，保证了MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种MEMS麦克风，该MEMS麦克风包括：

基底，所述基底设置有贯穿所述基底的声腔；

第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述基底正面，且位于所述声腔四周；

背极，所述背极设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域；

第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述背极与所述第一绝缘层相对区域的表面；

振膜，所述振膜设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述背极与所述声腔相对的区域，所述振膜与所述背极不接触；

其中，所述振膜包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置与所述声腔径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有多个间隔分布的环状纹膜凹槽。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述振膜的背面与所述环状纹膜凹槽相对的区域设置有朝向所述声腔一侧的凸起结构，所述凸起结构与所述背极之间具有间隙。

在上述MEMS麦克风中，还包括：

贯穿所述背极的声孔。

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括：

悬梁，所述悬梁设置在所述振膜正面，且位于所述振膜与所述第二绝缘层相对区域。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋是设置在所述振膜正面的加强筋凹槽，所述加强筋凹槽的延伸方向平行于所述声腔径向。

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括：

设置在所述振膜的背面与所述加强筋凹槽相对的区域朝向所述声腔一侧的凸起结构。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋是设置在所述振膜正面的条状凸起结构，所述条状凸起结构的延伸方向平行于所述声腔径向。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的MEMS麦克风包括：基底，所述基底设置有贯穿所述基底的声腔；第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述基底正面，且位于所述声腔四周；背极，所述背极设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域；第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述背极与所述第一绝缘层相对区域的表面；振膜，所述振膜设置在所述第二绝缘层，且覆盖所述背极与所述声腔相对的区域，所述振膜与所述背极不接触；其中，所述振膜包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置与所述声腔径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有多个间隔分布的环状纹膜凹槽。通过所述加强筋能够使得所述背极与所述振膜之间的声压均匀，保证了MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的一种MEMS麦克风的俯视图；

图2为本申请实施例提供的一种MEMS麦克风的剖面图；

图3为本申请实施例提供的另一种MEMS麦克风的剖面图。

具体实施方式