[实用新型]一种出光效率高的倒装LED芯片、及其LED器件有效
申请号: | 201420431112.8 | 申请日: | 2014-08-01 |
公开(公告)号: | CN204102928U | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 许朝军;姜志荣;曾照明;黄靓;肖国伟 | 申请(专利权)人: | 晶科电子(广州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38;H01L33/00 |
代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 肖云 |
地址: | 511458 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 效率 倒装 led 芯片 及其 器件 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种发光二极管芯,尤其涉及一种倒装结构的发光二极管芯片,以及含有该倒装LED芯片的LED器件。
背景技术
发光二极管(LED)光源具有高效率、长寿命、不含Hg等有害物质的优点。随着LED技术的迅猛发展,LED的亮度、寿命等性能都得到了极大的提升,使得LED的应用领域越来越广泛,从路灯等室外照明到装饰灯等市内照明,均纷纷使用或更换成LED作为光源。
半导体照明行业内,一般将LED芯片的结构分成正装芯片结构、垂直芯片结构和倒装芯片结构三类。与其它两种芯片结构相比,倒装芯片结构具有散热性能良好、出光效率高、饱和电流高和制作成本适中等优点,已经受到各大LED芯片厂家的重视。在进行封装时,倒装LED芯片直接通过表面凸点金属层与基板相连接,不需要金线连接,因此也被称为无金线封装技术,具有耐大电流冲击和长期工作可靠性高等优点。
现有的倒装LED芯片,如图1所示,其是经过六个主要步骤制成的。步骤一:如图2-a所示,刻蚀外延衬底10上的部分P型外延层13、发光层12和N型外延层11以形成台阶结构,一般采用ICP(Inductive Coupled Plasma)干法刻蚀,刻蚀掩膜采用光刻胶或二氧化硅层。步骤二:如图2-b所示,在N型外延层11表面设置N接触金属层20,由电子束蒸发工艺搭配光刻剥离工艺完成。步骤三:如图2-c所示,在P型外延层13表面设置P接触金属层21,由电子束蒸发工艺搭配光刻腐蚀工艺完成。步骤四:如图2-d所示,在P接触金属层21表面设置P阻挡保护层22,由电子束蒸发工艺搭配光刻腐蚀工艺完成,P阻挡保护层用于阻挡P接触金属层的金属迁移。步骤五:如图2-e所示,在芯片表面制备具有通孔的绝缘层23,绝缘层材料一般为SiO2,由PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法搭配光刻腐蚀工艺完成。步骤六:如图2-f所示,在绝缘层23表面设置表面电极层,P表面电极层24通过通孔与P阻挡保护层电连接,N表面电极层25通过通孔与N接触金属层20电连接,一般由电子束蒸发工艺搭配光刻剥离工艺完成。
现有的这种倒装LED芯片,由于光刻精度的限制,其P接触电极层和P阻挡保护层的覆盖面积都会小于P型外延层的表面积,这会使芯片的导电导热能力、出光效率都受到影响,无法得到进一步提升。
实用新型内容
本实用新型为弥补现有技术中存在的不足,第一方面提供一种导热导电能力好、且有利于提高LED芯片出光效率的倒装LED芯片。
本实用新型为达到其第一方面的目的,采用的技术方案如下:
本实用新型提供一种倒装LED芯片,包括外延衬底、P表面电极、N表面电极、叠加于外延衬底上表面的N型外延层、叠加于N型外延层上表面的发光层、叠加于发光层上表面的P型外延层,所述P型外延层其上开设有第一凹孔,且第一凹孔向下贯穿过所述发光层并延伸至所述N型外延层;在P型外延层上表面叠加有一P接触金属层,且P接触金属层的边缘与P型外延层的边缘重合,相互叠加的P型外延层和P接触金属层构成第一叠加结构;所述第一叠加结构其上表面叠加有P阻挡保护层,且P阻挡保护层的下表面覆盖面积与P型外延层的上表面面积一致;N型外延层、发光层、P型外延层、P接触金属层、及P阻挡保护层依次叠加构成第二叠加结构,所述第二叠加结构其外露的表面设有绝缘层,且和所述第一凹孔的底部位置相对应的绝缘层部分设有第一通孔,在和P阻挡保护层上表面对应的绝缘层部分设有第二通孔;所述N表面电极通过所述第一通孔与N型外延层电连接,所述P表面电极通过所述第二通孔与P阻挡保护层电连接。
进一步的,N表面电极的边缘向下延伸至第一通孔的底部与所述N型外延层直接接触以形成电连接。N表面电极层直接与N型外延层形成欧姆接触,省略了N接触金属层,使芯片结构更简单,降低了倒装LED芯片的物料成本和工艺成本。
进一步优选的,所述第二叠加结构其边缘呈台阶状。
本实用新型第二方面提供一种含有上文所述的倒装LED芯片的LED器件,所述LED器件包括基板、及倒装安装于所述基板上的如上文所述的倒装LED芯片,基板上设有互相间隔的P电极和N电极,所述倒装LED芯片其P表面电极和N表面电极分别对应地与基板上的P电极和N电极连接。
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