[实用新型]基于压电陶瓷的精密工作台

权利要求书

1.一种基于压电陶瓷的精密工作台，包括PC上位机(1)、信号处理单片机(2)、粗位移部分、精位移部分(B)和光栅尺细分反馈部分(14)，其特征在于：所述粗位移部分包括步进电机和滚珠丝杠(18)，所述精位移部分(B)包括压电陶瓷驱动器(A)和压电陶瓷(3)；

所述PC上位机(1)通过串口与信号处理单片机(2)进行通信连接，信号处理单片机(2)通过导线分别与粗位移部分和精位移部分(B)连接，光栅尺细分反馈部分(14)、信号处理单片机(2)和精位移部分(B)形成闭环反馈回路；

所述光栅反馈部分(14)包括细分部分和精细分部分(E)，所述细分部分包括正弦信号处理电路(C)、余弦信号处理电路(D)和CPLD芯片(8)，正弦信号处理电路(C)和余弦信号处理电路(D)均包括依次串联的隔直电路(4)、滤波电路(5)、跟随电路(6)和过零比较电路(7)，两组过零比较电路(7)输出端与CPLD芯片(8)连接；

所述精细分部分(E)包括A/D转换模块(15)、构造函数模块(16)、查询模块(17)；经CPLD芯片(8)处理后的信号数据和查询模块(17)输出的信号数据均输入运算比较单片机(9)进行相加运算。

2.根据权利要求1所述一种基于压电陶瓷的精密工作台，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器(A)包括D/A转换模块(10)和压电陶瓷放大电路模块(11)，信号处理单片机(2)收到光栅尺细分反馈部分(14)的反馈信号数据后发出控制信号，控制压电陶瓷驱动器(A)驱动压电陶瓷(3)精位移。

3.根据权利要求2所述一种基于压电陶瓷的精密工作台，其特征在于：所述步进电机通过步进电机控制器(12)和步进电机驱动器(13)驱动，信号处理单片机(2)通过导线将其四个引脚分别引入步进电机控制器(12)的脉冲引脚和正反转引脚，步进电机控制器(12)的输出脉冲引脚则接入步进电机驱动器(13)的输入端形成了对步进电机的控制，步进电机输出端连接滚珠丝杠(18)。

4.根据权利要求3所述一种基于压电陶瓷的精密工作台，其特征在于：所述步进电机可以替换为直流电机或者交流伺服电机。

5.根据权利要求4所述一种基于压电陶瓷的精密工作台，其特征在于：所述信号处理单片机(2)为MSP430单片机。

6.根据权利要求1、2、3、4或5所述一种基于压电陶瓷的精密工作台，其特征在于：所述运算比较单片机(9)为STC12C5A60S2单片机。