[实用新型]溅射阴极装置

权利要求书

1.一种溅射阴极装置，用于向镀膜基板的表面进行溅射，其特征在于，其包括分离的多个阴极部件，每个阴极部件均包括阴极管及设置在该阴极管外周的至少一个平面靶材，所述多个阴极部件被布置成每个阴极部件的其中一个平面靶材朝向镀膜基板的表面，从而对该表面进行溅射。

2.如权利要求1所述的溅射阴极装置，其特征在于，每个阴极部件还包括支撑座和机架，阴极管安装于支撑座上，机架与支撑座连接，并能够带动支撑座和阴极管旋转，使得每个阴极部件的平面靶材选择性的朝向镀膜基板的表面。

3.如权利要求2所述的溅射阴极装置，其特征在于，阴极部件的数量为3个，包括第一阴极部件、第二阴极部件及第三阴极部件，第一阴极部件及第三阴极部件位于第二阴极部件的两侧，第一阴极部件与镀膜基板的表面之间具有第一距离，第二阴极部件与镀膜基板的表面之间具有第二距离，第三阴极部件与镀膜基板的表面之间具有第三距离，其中，第一距离等于第三距离，且小于第二距离。

4.如权利要求3所述的溅射阴极装置，其特征在于，第二阴极部件的朝向镀膜基板的表面的平面靶材是选择性地与该表面平行，第一阴极部件的朝向镀膜基板的表面的平面靶材以及第三阴极部件的朝向镀膜基板的表面的平面靶材均以一预定角度来朝向该镀膜基板的表面，且第一、第二及第三阴极部件相对于镀膜基板的表面对称设置。

5.如权利要求4所述的溅射阴极装置，其特征在于，第一、第二及第三阴极部件在镀膜基板的表面上分别形成第一、第二及第三溅射区域，且第一溅射区域与第二溅射区域部分重叠，第二溅射区域与第三溅射区域部分重叠，且上述重叠部分面积相等。

6.如权利要求5所述的溅射阴极装置，其特征在于，每一阴极管外周均匀设置多个平面靶材。

7.如权利要求6所述的溅射阴极装置，其特征在于，每一阴极管垂直于其长度方向的截面为多边形，且在与所述多边形的每条边对应的侧面上均布置有一个平面靶材。

8.如权利要求7所述的溅射阴极装置，其特征在于，所述截面为三角形、四边形或五边形。

9.如权利要求2-8中任一项所述的溅射阴极装置，其特征在于，每个阴极部件还包括屏蔽罩，屏蔽罩固定连接于机架，其沿着阴极管的长度方向设置并围绕所述阴极管，且该屏蔽罩具有开口，在机架带动支撑座和阴极管旋转的过程中，使每一阴极部件的平面靶材选择性的朝向镀膜基板的表面并从开口露出。