[实用新型]一字激光光源的蚀刻装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种蚀刻装置，尤其涉及一种以激光蚀刻透明导电膜的干式蚀刻装置。

背景技术

伴随着移动信息装置例如移动电话、导航系统等消费性电子产品的高能性和多样性的发展，在显示装置的前方已广泛地安装有具透光性的触控面板(touch panel)。

一般来说，触控面板的触控装置包括一保护盖板、一绝缘遮光层、一感测电极层及一信号传送层。其中，保护盖板具有供使用者操作的一感应区与围绕该感应区的一周边区，绝缘遮光层形成于保护盖板的周边区，感测电极层形成于保护盖板的感应区与部分周边区，信号传送层形成于绝缘遮光层上且与感测电极层电性连结，让感测电极层上产生的电信号可经由信号传送层传递至外部检测电路，并藉由外部检测电路判断触控位置。

其中，所谓的感测电极层及一信号传送层，可以是以一光学透明胶片该表面可以有硬化层，进一步在于该表面形成一透明导电层，该透明导电层可以是有机或无机导电材料等，经涂布或蒸镀而成，而构成的透明导电层可再于该导电层上以银胶经印刷形成一银胶导电层，之后再以蚀刻方式如湿式或干式，以干式蚀刻如激光方式进行蚀刻，其中透明导电层经蚀刻后形成线路即所谓的感测电极层，银胶导电层经蚀刻后形成线路即所谓的信号传送层。

前述的激光蚀刻方式是利用一特定脉冲能量低于100瓦的激光光源进行蚀刻，以一单一激光光束结合于一可经电脑路径设定的X-Y平台，经电脑程序的特定路径安排，以驱动机构辅助该激光光源对透明导电层上的导电层延伸更大线路区域的蚀刻，蚀刻宽度可以精确至50um以下。不过以单一激光光束进行透明导电层的一整面的线路蚀刻，耗时不利量产效益，且单一激光光束蚀刻单一透明导电层的线路易产生蚀刻不良缺憾风险提高。

现在另一种高能量的激光技术，提供一面状(一字)光束，可做为切割或进一步与光罩结合作为塑料焊接之用，据此有别于单一激光光束的一字型激光面光束技术进一步结合光罩技术可以加以改良利用，作为透明导电层的干式蚀刻量产技术设计。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于解决传统缺失，本实用新型提供一种一字激光光源的蚀刻装置，可做为透明导电胶片上的导电层的激光蚀刻加工技术之用，可以提升透明导电胶片的特定线路蚀刻后的良率。

为达上述目的，本实用新型提供一种一字激光光源的蚀刻装置，以对光罩及透明导电胶片的导电材料层呈相对移动进行蚀刻处理，其包括：

一机台；

一驱动机构，架设于该机台上，由一致动元件、一驱动杆及一被驱动杆组成，该驱动杆与该致动元件连接；另，该被驱动杆上具有至少一滑孔及一与该驱动杆啮合的驱动孔；

一字激光模块，设于架设在该机台上的该被驱动杆上，该一字激光模块以产生一字激光光源输出；

一固定承座，架设于机台上且设于该滑孔中；

其中，该驱动机构的致动元件驱动时，以驱动该驱动杆转动，使该被驱动杆带动该一字激光模块于该固定承座上移动，同时该一字激光模块所产生的一字激光光源与一字激光光源移动方向垂直，在移动时该一字激光光源透射穿过该光罩，使该一字激光光源的能量让透明导电胶片上的导电层熔毁蚀刻，形成特定线路。

其中，该机台上具有一承载座，该承载座上具有一多个支撑杆所组成的固定架。

其中，该致动元件为马达、汽缸，或者马达连接减速机。

其中，该驱动杆为涡杆，架设于该固定架上。

其中，该驱动孔内具有一与该驱动杆啮合的齿面。

其中，该固定承座由二导杆组成，该二导杆以穿射于该被驱动杆的二滑孔中，并架设在该固定架上。

其中，该一字激光光源提供脉冲式面型光束。

其中，该一字激光光源经电子驱动方式形成面型光束。

其中，该一字激光光源在激光光束射出前端安装一光学装置如光栅形成面型光束。

其中，该一字激光光源在激光光束射出前端安装一光学装置经电子驱动方式形成面型光束。

其中，该一字激光光源以多个激光光源并列，并在光束前端设置一透镜调整形成一字形面光源。

其中，该一字激光光源在激光光束射出前端安装一结合驱动装置的透镜组。

其中，该一字激光光源在激光光束射出前端安装一集尘装置。

其中，该光罩上具有一透光区域及一不透光区域。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1，本实用新型的一字激光光源的蚀刻装置的外观示意图；