[实用新型]单晶炉快速清理及防爆真空管路系统

说明书

技术领域

本实用新型是关于直拉硅单晶炉设备，特别涉及单晶炉快速清理及防爆真空管路系统。

背景技术

单晶炉是将多晶硅转化成单晶硅工艺过程中不可缺少的设备，而单晶硅作为现代信息社会的主要支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，同时它也是发展计算机与集成电路、光伏发电与太阳能利用的主要功能材料。

当单晶炉在拉制硅单晶过程中，如果发生漏硅等重大生产事故时，硅液会将内层熔透，此时冷却循环水可能会进入炉内在高温作用下迅速变成水蒸汽，炉压会突然增大，炉内会从真空状态变成高压状态，从而爆炸导致炉体损坏，周围人员伤亡。另外由于单晶炉在拉晶过程中会产生大量的SiO等挥发物，这些挥发物会附着在炉室内壁及管道内。因为单晶炉工作时气体氛围为负压的氩气等惰性气体氛围，所以当单晶炉停止加热并冷却到一定温度后，如果直接开启炉室会因为大量的空气进入炉内和SiO发生剧烈氧化反应而引起燃烧并爆炸。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种具有自动防爆泄压功能，同时方便清理的单晶炉真空管路系统。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供单晶炉快速清理及防爆真空管路系统，设置在真空管道上，所述单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口、防爆清理口和快速清理口；防爆泄压口包括防爆法兰、O形密封圈A和螺栓，防爆法兰设置在真空管道的上端口放气口，且防爆法兰的两端通过螺栓实现连接，防爆法兰能在真空管道的上端口放气口和螺栓的螺帽之间移动，O形密封圈A用于防爆法兰覆盖在真空管道的上端口放气口时，实现密封；防爆清理口包括防爆盲板、O形密封圈B、铰链座、铰链杆和铰链螺钉，真空管道的前端口法兰上固定铰链座，防爆盲板的一侧通过铰链杆和铰链螺钉铰接在铰链座上，使防爆盲板倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上，O形密封圈B用于防爆盲板覆盖在真空管道的前端放气口时，实现密封；快速清理口包括卡箍盲板、端口法兰、O形密封圈C和链式卡箍，链式卡箍的卡槽外宽内窄，能将卡箍盲板和端口法兰卡住，利用紧固螺栓拧紧固定在真空管道的两侧端口，O形密封圈C用于卡箍盲板覆盖在真空管道的两侧端口时，实现密封。

作为进一步的改进，所述防爆盲板呈45°倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

防爆泄压口与防爆清理口都利用重力和真空密封效果覆盖在真空管道的放气口上，无需弹性结构，当炉内压力过大时，气体压力能自动推开防爆法兰和防爆盲板，放出气体，从而增加了设备的安全性，同时防爆清理口还具有泄压功能。在清理真空管道时，无需使用工具即可拆卸快速清理口中的相关部件，达到快速清理的目的。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型中的防爆泄压口结构示意图。

图3为本实用新型中的快速清理口结构示意图。

图4为本实用新型中的防爆清理口结构示意图。

图中的附图标记为：1防爆法兰；2螺栓；3O形密封圈A；4端口法兰；5卡箍盲板；6O形密封圈C；7链式卡箍；8铰链座；9铰链螺钉；10铰链杆；11防爆盲板；12O形密封圈B；13防爆泄压口；14快速清理口；15防爆清理口。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

图1中的单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口13、防爆清理口15和快速清理口14，设置在真空管道上，能防止炉体损坏，确保安全生产。它的自动泄压及快速清理功能主要由防爆泄压口13、防爆清理口15和快速清理口14等安全口实现。

如图2所示，防爆泄压口13包括防爆法兰1、O形密封圈A3和螺栓2，防爆法兰1设置在真空管道的上端口放气口，且防爆法兰1的两端通过螺栓2实现连接，防爆法兰1能在真空管道的上端口放气口和螺栓2的螺帽之间移动，O形密封圈A3用于防爆法兰1覆盖在真空管道的上端口放气口时，实现密封。当炉内压力过大时，气体压力能自动冲开防爆法兰1，防止损坏炉体。而由于防爆法兰1上固定着留有余量的螺栓2，因此防爆法兰1只能被气体压力向上冲到螺栓2螺帽处，然后在重力的作用下重新覆盖到放气口上，安全有效。