[实用新型]一种掩模板

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示产品的成膜技术领域，具体地，涉及一种掩模板。

背景技术

应用有机电致发光二极管(OLED，Organic Light-Emitting Diode)的显示器也被称为OLED显示器或者是有机电致发光显示器，它是一种新型的平板显示器，因其具有主动发光、对比度高以及响应速度快等优点，而得到广泛应用。

在制作OLED显示器的过程中需要将有机材料蒸镀到玻璃基板表面，而蒸镀有机材料的过程中需要采用掩模板，以便在玻璃基板上得到所需的图案。

目前，掩模板一般采用金属掩模板，金属掩模板通常包括框架以及通过该框架支撑的设置有成膜图案的掩模。框架和掩模的材质一般为Invar(因瓦合金，即含有35.4％镍的铁合金)，Invar的膨胀系数为1.2×10^-6℃，密度为8.1g/cm3，热传导系数为10W/m.k，比热为515J/kg，抗拉伸强度为590Mpa，Invar的上述物理特性使其很适合用作掩模板。

为了使设置有成膜图案的掩模具有较高的平坦度，需要将掩模拉伸后固定在框架上，并通过框架张紧，所以框架需要有能满足掩模张紧的强度，为此框架通常需要具备一定的厚度和重量。框架的材质一般为Invar或SUS材料，这些材料的密度相对较大。当框架需要对面积较大的掩模进行张紧时，框架本身的重量通常也会比较大，此时，很容易导致机械手在传送框架时受到限制。

另外，采用Invar的框架对掩模进行张紧支撑形成的掩模板平坦度不高，如掩模表面不同位置的高度差会达到100um～150um。当掩模板尺寸较大时，其平坦度会进一步下降，对成膜工艺产生比较严重的阴影影响，从而影响OLED的性能。

同时，掩模板属于消耗品，当使用一定次数精度下降时，就需要废弃处理，而Invar材料及加工的价格非常高昂，导致在大规模生产中掩模板的成本在产品成本中占有非常大的比重。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种掩模板。该掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度。

本实用新型提供一种用于成膜的掩模板，包括第一膜层和第二膜层，所述第二膜层覆叠在所述第一膜层上，所述第一膜层采用无纺布或陶瓷板，所述第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。

优选地，所述第一膜层和所述第二膜层的材质密度均小于8.1g/cm³，膨胀系数均小于1.2×10^-6/℃，热传导系数均小于10W/m·k。

优选地，所述无纺布的耐受温度范围为400℃以内，所述陶瓷板的耐受温度范围为1400℃以内。

优选地，所述无纺布采用聚酰亚胺纤维、聚苯硫醚纤维、热塑性弹性体纤维、热塑性聚烯烃纤维、热熔接性复合纤维、麻纤维、粘结纤维、银纤维、环氧类化合物的聚乳酸纤维、碳纤维、烯烃系聚合物、涤纶化纤、锦纶化纤、粘胶化纤、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纤维、芳香族聚酯、棉纤维和丝纤维中的任意一种材料。

优选地，所述第二膜层的厚度范围为1-1000μm。

优选地，还包括覆叠在所述第二膜层上的第三膜层，所述第三膜层采用UV固化胶或热固化胶。

优选地，所述掩模板上设置有镂空的成膜图案，对应在所述成膜图案的边缘，所述第三膜层完全包覆所述第一膜层和所述第二膜层。

优选地，所述第三膜层的厚度范围为50-3000μm。

优选地，其特征在于，所述热固化胶的固化温度范围为10℃-200℃。

优选地，还包括粘贴层，所述粘贴层设置在所述第一膜层的背对所述第二膜层的一侧，且位于所述第一膜层的边缘。

本实用新型的有益效果：本实用新型所提供的掩模板，通过使掩模板的第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度；同时，上述膜层材质的掩模板能使其不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。

附图说明

图1为本实用新型实施例1中掩模板的结构俯视图；

图2为图1中掩模板沿A1A2剖切线进行剖切的剖视图。

其中的附图标记说明：