[实用新型]一种圆柱形硅棒夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种圆柱形硅棒夹具。

背景技术

在将圆柱形的硅棒切割成硅片时，需要采用夹具对硅棒进行定位和固定；现有的圆柱形硅棒夹具采用卡爪对硅棒进行夹持时，容易对硅棒表面产生压痕，影响产品的质量；采用上下两个弧形板来夹持硅棒时，由于夹具或硅棒的表面不光滑等缺陷会导致夹持硅棒不牢固，在切割硅棒时，因晃动而影响产品质量；此外，弧形板只能夹持一种直径的硅棒，性能单一；而且现有的圆柱形硅棒，大多没有定位装置，生产出的硅片厚度不均。

实用新型内容

本实用新型提供了一种圆柱形硅棒夹具，旨在解决现有圆柱形硅棒夹具在夹持硅棒时生产的硅片次品较多的问题。

为了解决以上技术问题，本实用新型通过以下技术方案实现：一种圆柱形硅棒夹具，包括用于固定硅棒的固定装置、转接在固定装置上且用于控制硅棒位置的定位装置；所述固定装置包括上表面的四个角上分别设有四个垂直于上表面的导向柱的下压块，每个导向柱的上部设有螺纹；固定装置还包括从上到下依次套接在四个导向柱上的下模块、上模块、上压块、四个分别设置在四个导向柱上的压紧螺母；所述上模块的下表面设有与硅棒相配的上弧形槽，所述下模块的上表面设有与硅棒相配的下弧形槽；所述定位装置包括安装在下压块上的转接装置、转接在转接装置上的支架、设置在硅棒左端且可相对支架左右移动的滑杆、设置在硅棒右侧且设置在支架上的调节螺栓；所述滑杆穿射在支架上且设有刻度，滑杆左右每端均设有一个挡块，滑杆上套接有位于支架和右侧挡块之间的弹簧。

进一步，所述下压块的上表面带有弧形的下凹槽，所述下模块的下表面与下压块的上表面相配；所述上压块的下表面设有上凹槽，所述上凹槽的左右每端均设有一个固连在上压块上的弧形块，所述上模块为一个中空的矩形框架，上弧形槽有两个且分别设置在上模块左右两条边的上表面上，所述上模块的上表面与下压块下表面相配；上模块只有左右两边压住硅棒，可以避免硅棒因表面不光滑灯缺陷，而造成的固定不牢固的问题；此外，下凹槽为弧形，上凹槽左右两端设有弧形块，在不需要上模块和下模块的情况下也可进行对硅棒进行固定。

进一步，所述上压块上穿设有至少一个轴线垂直于上压块上表面且上小下大的阶梯孔，所述阶梯孔位于上压块的前后对称面上，阶梯孔的上部为圆形的螺纹孔且配有压紧螺栓，所述阶梯孔的下部为方形孔且配有方形块，所述方形块和压紧螺栓之间设有轴承；每个方形块下方均固连有一个辅助压块，辅助压块位于上凹槽内；辅助压块可以对硅棒进一步的固定，夹持硅棒时更加牢固。

进一步，所述辅助压块为弧形；夹持硅棒时更加牢固。

进一步，所述阶梯孔有三个；少于三个时效果不太好，多于三个时成本高。

进一步，所述轴承为角接触球轴承；既可以承受径向力，又可以承受轴向力。

进一步，所述转接装置包括两个分别固连在下压块前侧面左右两端的支撑块、两个分别设置在两个支撑块上且用于固定支架的紧固螺钉；所述支架包括一根转接在两个支撑块上且左右方向设置的圆杆、两根分别固连圆杆左右两端且垂直圆杆的支杆，所述滑杆穿射在左侧的支杆上，所述调节螺栓转接在右侧的支杆上；结构简单成本低。

与现有技术相比本实用新型的优点是：本实用新型中设有硅棒的定位装置和固定装置，方便硅棒的定位和固定；固定装置中设有上压块、下压块、上模块和下模块，方便拆装，通过更换不同规格的上模块和下模块可以固定不同直径的圆柱，通用性强；上模块的上弧形槽和下模块的下弧形槽在夹持硅棒时不会产生压痕，提高了生产出的硅片质量；此外，定位装置对硅棒的定位比较精确，减小了硅片的厚度误差，提高了硅片的质量。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中定位装置的结构示意图；

图3为本实用新型中固定装置的左视图；

图4为本实用新型中上模块下表面朝上时的结构示意图；

图5为本实用新型中下模块的结构示意图；

图6为本实用新型中上压块下表面朝上时的结构示意图；

图7为本实用新型中下压块的结构示意图。

具体实施方式

参阅图1，一种圆柱形硅棒夹具，包括用于固定硅棒1的固定装置、转接在固定装置上且用于控制硅棒1位置的定位装置。