[实用新型]一种角度微调节平台

说明书

技术领域

本实用新型属于精密机械与精密光学技术领域，尤其是一种角度微调节平台。

背景技术

微位移技术是精密机械与精密光学的关键技术之一，近年来随着微电子技术、宇航、生物工程等学科的发展而迅速地发展起来。随着精密机械与精密光学技术的发展，对相对应的工艺系统提出了更高的要求，要求这些系统的定位精度能够达到亚微米甚至纳米级的精度。由于定位技术的水平几乎左右着整个设备的性能，因此直接影响到微电子、宇航、生物工程等高精度工业的发展。例如精密仪器，无论是大行程的精密定位，还是小范围内的光学对准，都离不开角度微调技术。

无论精密仪器加工制造水平多高，精密机械均不可避免地存在一定的加工误差，导致精密测量时在实际应用过程中会出现光学零部件角度位置调整不到位，需要对角度进行微量调整的情况。

通过检索，尚未发现与本实用新型申请的相同或类似的装置应用于精密测量技术领域。

实用新型内容

本实用新型的目的旨在克服现有的精密仪器微调整的局限性，解决现有技术中存在的技术问题，提供一种结构简单紧凑、操作方便，可应用于精密测量技术领域，方便精密测量时对光学元器件的摆角及俯仰角进行微调，达到提高测量精度减小测量误差的目的，与现有精密仪器配合即可实现对光学元器件角度位置的精确定位与调整的角度微调节平台。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种角度微调节平台，包括微调节平台块、前后拉紧螺钉、前后顶紧螺钉、上下拉紧螺钉及上下顶紧螺钉，所述微调节平台块内通过切出沟槽一体制出立式前后刚体构件和横式上下刚体构件，在沟槽的交汇处形成柔性铰链，所述立式前后刚体构件的一端与横式上下刚体构件的一端连接制在一起；所述微调节平台能够提供前后和上下两个方向的转动微变形。

而且，所述立式前后刚体构件内竖直方向制出前刚体构件和后刚体构件，所述前刚体构件设置于后刚体构件的前方，所述后刚体构件与立式前后刚体构件之间通过立式前后刚体构件制出的竖向柔性铰链连接制在一起；所述前刚体构件和后刚体构件的上部内沿前、后方向连通制有一前后拉紧螺纹盲孔，该前后拉紧盲孔内螺纹安装一前后拉紧螺钉；所述前后拉紧螺纹盲孔下方的前刚体构件内平行于前后拉紧螺纹盲孔制有一前后顶紧通孔，该前后顶紧通孔内螺纹安装一前后顶紧螺钉，该前后顶紧螺钉的底端能够顶装在后刚体构件的相对端面上。

而且，所述柔性铰链为直线铰链形式或圆弧铰链形式。

而且，所述横式上下刚体构件内横向自上至下制出上刚体构件和下刚体构件，所述上刚体构件与立式前后刚体构件通过立式前后刚体构件底端制出的横向柔性铰链制在一起；所述上刚体构件的横向上表面中心的远立式前后刚体构件端竖直制有一上下顶紧通孔，该上下顶紧通孔内螺纹安装一上下顶紧螺钉，该上下顶紧螺钉的底端能够顶装在下刚体构件的相对端面上；所述上刚体构件和下刚体构件的横向上表面中心的近立式前后刚体构件端沿上、下方向竖直连通制有一上下拉紧盲孔，该上下拉紧盲孔内螺纹安装一上下拉紧螺钉。

而且，所述上下顶紧通孔和上下拉紧螺钉两侧对称的下刚体构件内沿上下方向制有紧固通孔，与该紧固通孔相对的上刚体构件内沿上下方向制有通过通孔，该通过通孔的半径大于穿过紧固通孔的紧固螺钉的螺帽半径。

本实用新型的优点和积极效果是：

1、本调节平台结构简单紧凑、操作方便，该平台设置了前后拉紧螺钉、前后顶紧螺钉、上下拉紧螺钉及上下顶紧螺钉，可以通过控制四个螺钉的拧紧或拧松，即可实现所述微调节平台块沿刚体构件的转轴产生微变形和定位锁紧，从而在极其有限的空间内实现光学器件摆角及俯仰角微调的目的，将其与精密测量仪器结合，并将应用光学元器件安装在此调节平台上，当现有精密测量仪器的角度调节系统误差较大或角度调节难以满足要求时，即可通过此角度微调节平台对被测物体或光学仪器的摆角及俯仰角进行进一步的微调，达到减小误差精确测量的目标，该角度微调节平台可应用于精密测量技术领域，方便构建精密测量系统时对光学元器件的摆角及俯仰角进行微调，达到提高测量精度减小测量误差的目的。

2、本调节平台可安装物镜、反射镜等光学仪器，可对光学仪器的摆角及俯仰角进行微调，包括微调节平台块，所述微调节平台块内部沿上下方向和前后方向上分别加工出两个刚体构件，通过控制这两个刚体构件的变形大小即可实现微调节平台块安装光学仪器部分中心摆角及俯仰角的微调节。

3、本调节平台可配合现有精密测量仪器，安装在测量仪器内部，在与现有精密仪器配合即可实现对光学仪器光路的精确定位与调整。