[实用新型]一种投影物镜波像差在线检测干涉仪

权利要求书

1.一种投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，包括：沿光源(1)输出光束方向依次放置的旋转散射器(2)、第一聚焦透镜(3)、光纤阵列(4)、第二聚焦透镜(5)、散射光学元件(6)、物面光栅板(7)、像面光栅板(10)、二维光电传感器(13)；

所述的物面光栅板(7)置于物面光栅位移台(8)上，所述的像面光栅板(10)置于像面光栅位移台(11)上，所述的像面光栅位移台(11)经相移控制模块(12)与计算机相连，所述的二维光电传感器(13)与计算机相连(14)；

所述的物面光栅板(7)位于被测光学系统(9)的物平面，所述的像面光栅板(10)位于被测光学系统(9)的像平面。

2.根据权利要求1所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，所述的旋转散射器(2)由支架(203)、电动机(202)和圆形漫散射光学元件(201)组成，所述的圆形漫散射光学元件(201)安装在电动机(202)上，在电动机(202)的驱动下沿中心轴转动。

3.根据权利要求1所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，所述的散射光学元件(6)是毛玻璃或微透镜阵列使照明光束在被测光学系统(9)数值孔径内均匀照明的光学元件。

4.根据权利要求1所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，所述的光纤阵列(4)由多模光纤按蜂窝状排列的光纤束。

5.根据权利要求1所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，所述的物面光栅板(7)由两个周期为P_o且占空比为50％的物面光栅、以及物面光栅对准标记(703)组成，两个物面光栅分别是光栅线沿y方向的第一光栅(701)和光栅线沿x方向的第二光栅(702)。

6.根据权利要求5所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，所述的第一光栅(701)和第二光栅(702)是相位型或振幅型或其他类型的一维衍射光栅。

7.根据权利要求5所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，所述的物面光栅的周期P_o与所述的像面光栅的周期P_i满足如下关系，

P_o＝P_i·M

其中，M为被测光学系统(9)的成像放大倍数。

8.根据权利要求5所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，所述的物面光栅对准标记(703)由位于上方的第三光栅(704)和位于下方的第四光栅(705)组成；所述的第三光栅(704)和第四光栅(705)都是线光栅，周期分别为P₁和P₂，且相差为5％。

9.根据权利要求1所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于所述的被测光学系统(9)数值孔径为NA，成像放大倍数为M:1。

10.根据权利要求1所述的投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，所述的像面光栅板(10)由像面光栅(1001)和像面光栅对准标记(1002)组成；所述的像面光栅(1001)是棋盘光栅，具有棋盘形布局，透光单元与遮光单元均为大小相同的正方形，每个透光单元周围为4个遮光单元，每个遮光单元周围为4个透光单元；所述的像面光栅(1001)的周期P_i等于正方形的对角线长度；所述的像面光栅(1001)透光单元和遮光单元的对角线方向平行于x轴和y轴方向；

所述的像面光栅对准标记(1002)由位于上方的第五光栅(1003)和位于下方的第六光栅(1004)组成，所述的第五光栅(1003)的周期等于物面光栅对准标记(703)第四光栅(705)的周期与被测光学系统(9)成像放大倍数的乘积，所述的第六光栅(1004)的周期等于物面光栅对准标记(703)第三光栅(704)的周期与被测光学系统(9)成像放大倍数的乘积。