[实用新型]微间距图案的布线结构

权利要求书

1.一种微间距图案的布线结构，其特征在于其包含：

连接部；

第一导线部，具有第一线段及第二线段，该第一线段连接该连接部，该第二线段连接该第一线段，且该第二线段经由该第一线段电性连接该连接部；以及

第二导线部，经由该连接部电性连接该第一导线部，且该连接部、该第一导线部及该第二导线部为同一层的金属层，该第二导线部具有第三线段及第四线段，该第三线段连接该连接部，且该连接部、该第三线段及该第一线段形成一三面封闭的蚀刻空间，该第四线段连接该第三线段，该第四线段经由该第三线段电性连接该连接部，该第三线段至该第一线段之间具有第一间距，该第四线段至该第二线段之间具有第二间距，该一间距大于该第二间距。

2.如权利要求1所述的微间距图案的布线结构，其特征在于其中该第二导线部的该第三线段具有直线部及弯折部，该直线部连接该连接部，该弯折部连接该直线部及该第四线段，该直线部具有第一侧面，该弯折部具有第二侧面，该第一侧面及该第二侧面朝向该蚀刻空间，该第一侧面至该第二侧面之间具有第一夹角，该第一夹角小于180度。

3.如权利要求2所述的微间距图案的布线结构，其特征在于其中该第一夹角介于90至180度之间。

4.如权利要求2所述的微间距图案的布线结构，其特征在于其中该弯折部具有第一端及第二端，该第一端连接该直线部，该第二端连接第四线段，且该弯折部的该第二侧面及该第一线段之间具有第三间距，该第三间距由该第一端朝向该第二端渐缩。

5.如权利要求1所述的微间距图案的布线结构，其特征在于其中该第二导线部具有宽度，该宽度与该第一间距的比例介于1:2至1:3之间。

6.如权利要求5所述的微间距图案的布线结构，其特征在于其中该第二导线部具有高度，该宽度与该高度的比例介于1:0.8至1:1.2之间。

7.如权利要求1所述的微间距图案的布线结构，其特征在于其另包含有第三导线部，该第二导线部位于该第一导线部及该第三导线部之间，该第三导线部至该第二导线部之间具有第四间距，该第四间距不小于该第二间距。

8.如权利要求2所述的微间距图案的布线结构，其特征在于其另包含有第三导线部，该第二导线部位于该第一导线部及该第三导线部之间，该第三导线部具有让位线段，其中该弯折部具有第三侧面，该第三侧面朝向该第三导线部，该让位线段具有第四侧面，该第四侧面至该第三侧面之间具有第二夹角，该第二夹角小于1度。