[实用新型]多晶硅生产过程中产生的高温废氮气的回收利用装置有效
| 申请号： | 201420491705.3 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN204281317U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 高静;陈朝霞 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/04 | 分类号： | C01B21/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 生产过程 产生 高温 氮气 回收 利用 装置 | ||
1.一种多晶硅生产过程中产生的高温废氮气的回收利用装置，其特征在于，包括过滤单元、冷却单元和吸附单元，
所述过滤单元的输入端接入所述高温废氮气，其输出端与冷却单元的输入端相连，用于去除所述高温废氮气中的固体颗粒杂质，并将已去除固体颗粒杂质的高温废氮气输出至冷却单元；
所述冷却单元的输出端与吸附单元的第一输入端相连，用于对所述已去除固体颗粒杂质的高温废氮气进行降温处理，以形成低温废氮气，并将所述低温废氮气输出至吸附单元；
所述吸附单元的输出端与氮气用户相连，其内填装有吸附剂，用于去除所述低温废氮气中的气体杂质，以形成纯化后的低温氮气，并将所述纯化后的低温氮气输出至氮气用户。
2.根据权利要求1所述的回收利用装置，其特征在于，所述回收利用装置还包括增压单元，所述增压单元的输入端与冷却单元的输出端相连，所述增压单元的输出端与吸附单元的第一输入端相连，用于对所述低温废氮气进行增压处理，并将增压后的低温废氮气输出至吸附单元。
3.根据权利要求2所述的回收利用装置，其特征在于，所述增压单元用于将所述低温废氮气增压至0.20MPaG～0.60MPaG。
4.根据权利要求1所述的回收利用装置，其特征在于，所述回收利用装置还包括缓冲单元，所述缓冲单元的输入端与吸附单元的输出端相连，所述缓冲单元的输出端与氮气用户相连，用于对所述纯化后的低温氮气进行稳压处理，并将稳压后的低温氮气输出至氮气用户。
5.根据权利要求1所述的回收利用装置，其特征在于，所述 回收利用装置还包括加热单元，所述加热单元的输入端接入部分所述纯化后的低温氮气，所述加热单元的输出端与吸附单元的第二输入端相连，用于对部分所述纯化后的低温氮气进行加热处理，并将加热后的部分所述纯化后的低温氮气输出至吸附单元，以对所述吸附单元中的吸附剂进行再生处理。
6.根据权利要求5所述的回收利用装置，其特征在于，所述加热单元用于将部分所述纯化后的低温氮气加热至100℃～200℃。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的回收利用装置，其特征在于，所述冷却单元用于将所述已去除固体颗粒杂质的高温废氮气降温至20℃～35℃。
8.根据权利要求1～6中任一项所述的回收利用装置，其特征在于，所述吸附单元的第一输入端位于吸附单元的下部，所述吸附单元的输出端位于吸附单元的顶部。
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