[实用新型]一种辅助硅片插片的装置

权利要求书

1.一种辅助硅片插片的装置，其特征在于，包括横梁(1)、竖梁(2)、横向移动装置、载片盒(3)、伸缩装置及吸盘(4)；所述横向移动装置设置在所述横梁(1)的下方，具有能够沿所述横梁移动的移动块；所述伸缩装置的固定端连接所述移动块，伸缩端连接所述吸盘(4)；所述竖梁(2)竖直安装在所述横梁(1)的一端，所述载片盒(3)固定在所述竖梁(2)的一侧并位于所述横梁(1)的下方；所述载片盒(3)内具有传感器(5)、喷气嘴(6)、托片盘(7)和升降装置，所述传感器(5)和所述喷气嘴(6)均位于所述载片盒(3)的上边缘的内侧，所述升降装置能够控制所述托片盘(7)在所述载片盒(3)内上下移动。

2.如权利要求1所述的辅助硅片插片的装置，其特征在于，所述横向移动装置包括第一丝杠(8)及第一电机(9)，所述第一丝杠(8)沿所述横梁(1)设置，所述移动块与所述第一丝杠(8)配合，所述第一电机(9)驱动所述第一丝杠(8)往复转动时能够使所述移动块沿所述第一丝杠(8)往返移动。

3.如权利要求2所述的辅助硅片插片的装置，其特征在于，所述升降装置包括第二丝杠(10)及第二电机(11)，所述第二丝杠(10)竖直设置，所述托片盘(7)的安装端与所述第二丝杠(10)配合，所述第二电机(11)驱动所述第二丝杠(10)往复转动时能够使所述托片盘(7)沿所述第二丝杠(10)上下移动。

4.如权利要求3所述的辅助硅片插片的装置，其特征在于，所述伸缩装置为伸缩缸(12)。

5.如权利要求4所述的辅助硅片插片的装置，其特征在于，所述载片盒(3)具有至少一个所述喷气嘴(6)。

6.如权利要求5所述的辅助硅片插片的装置，其特征在于，所述载片盒(3)具有两个所述喷气嘴(6)，两个所述喷气嘴(6)分别设置在所述载片盒(3)的两个相对的上边缘的内侧。