[实用新型]高纯水处理装置

权利要求书

1.一种高纯水处理装置，其特征在于：包括依次经管路连接的软水箱(1)、原水泵(2)、保安过滤器(3)、一级高压泵(4)、一级RO装置(5)、二级高压泵(6)、二级RO装置(7)、二级纯水箱(8)、EDI增压泵(9)、第一膜过滤器(10)、EDI装置(11)、膜脱气装置(12)、氮封水箱(13)、纯水泵(14)、TOC除碳器(15)和第二膜过滤器(16)，所述一级RO装置(5)和二级RO装置(7)上均设有清洗水箱(17、18)，EDI装置(11)上还设有极水出口(111)和浓水出口，并在浓水出口管路上安装有浓水循环泵(20)，第一膜过滤器(10)的出口侧连接有浓水加盐装置(19)，所述氮封水箱(13)上设有用于调节氮气流入的三通比例阀(22)。

2.根据权利要求1所述的高纯水处理装置，其特征在于：所述一级RO装置(5)包括五个一级反渗透膜，一级反渗透膜的出水力为20m³/h，其中第一一级反渗透膜、第二一级反渗透膜和第三一级反渗透膜的进水口与一级高压泵(4)相连，第一一级反渗透膜、第二一级反渗透膜和第三一级反渗透膜的浓水出口与第四一级反渗透膜、第五一级反渗透膜的进水口连接，第四一级反渗透膜、第五一级反渗透膜的浓水出口上连接有排污管道(23)及清洗水箱(17)。

3.根据权利要求2所述的高纯水处理装置，其特征在于：所述二级RO装置(7)包括四个二级反渗透膜，二级反渗透膜的出水力为15m³/h，其中第一二级反渗透膜、第二二级反渗透膜的进水口与二级高压泵(6)相连，第一二级反渗透膜、第二二级反渗透膜的浓水出口与第三二级反渗透膜、第四二级反渗透膜的进水口连接，第三二级反渗透膜、第四二级反渗透膜的浓水出口上连接有清洗水箱。

4.根据权利要求1所述的高纯水处理装置，其特征在于：所述保安过滤器(3)的滤芯为PPF材质，过滤精度设置为5u。

5.根据权利要求1所述的高纯水处理装置，其特征在于：所述EDI增压泵(9)为二个，两个EDI增压泵(9)为并联在一起，能单独使用或一起使用。

6.根据权利要求1所述的高纯水处理装置，其特征在于：所述第一膜过滤器(10)的滤芯为PPF材质，过滤精度设置为0.15u，第二膜过滤器(16)的滤芯为PPF材质，过滤精度设置为0.1u。

7.根据权利要求1所述的高纯水处理装置，其特征在于：所述膜脱气装置(12)包括串联的一级脱气装置和二级脱气装置，在二级脱气装置上连接有真空泵(21)。

8.根据权利要求1所述的高纯水处理装置，其特征在于：所述纯水泵(14)为并联的二个，可单独使用或一起使用。

9.根据权利要求1所述的高纯水处理装置，其特征在于：所述第二膜过滤器(16)的高纯水出水口与氮封水箱(13)相连通。