[实用新型]用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器有效
申请号: | 201420507793.1 | 申请日: | 2014-09-04 |
公开(公告)号: | CN204097594U | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 李辉;毛瑞川;姜宏伟 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 杨文晰;孙忠浩 |
地址: | 210000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 蓝宝石 单晶炉 变径钨杆 加热器 | ||
1.一种用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:加热器包括弧形的正负极电极板、汇流钨环、正极栅和负极栅,以及四个均匀分布的电极爪,其中,正、负极栅均含有一组变径钨杆,一组变径钨杆中的每根变径钨杆上至少包括两节不同直径的钨杆,不同直径的变径钨杆结合部通过与两端杆径匹配的锥台平滑过渡连接;所述弧形的正负极电极板上分别设有一个电极爪,正、负极栅依次相间排列,正、负极栅的一端均与汇流钨环焊接,另一端分别与弧形的正、负极电极板对应焊接;正、负极栅的曲面分别为90弧度,正、负极电极板合围后中心呈管状的加热区。
2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:所述的一组变径钨杆中至少含有四根平行且规格相同的变径钨杆,每根变径钨杆相同直径的一节均位于正、负极栅的相同对应区位。
3.根据权利要求1所述的用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:正、负极栅上至少设有一道定位箍,定位箍的设置位置将所述的正、负极栅均匀分割;定位箍包括弧度与正、负极栅曲面一致的内、外固定杆和钨铼丝,内固定杆位于正、负极栅的内侧,外固定杆位于正、负极栅的外侧,内外固定杆夹持一组变径钨杆后,钨铼丝穿过相邻变径钨杆之间的空隙将内外固定杆捆扎。
4.根据权利要求3所述的用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:内固定杆为一根弧度与正负极栅曲面一致的固定杆,外固定杆为两根弧度与正负极栅曲面一致的固定杆,内固定杆的直径大于外固定杆。
5.根据权利要求3所述的用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:外固定杆为一根弧度与正负极栅曲面一致的固定杆,内固定杆为两根弧度与正负极栅曲面一致的固定杆,外固定杆的直径大于内固定杆。
6.根据权利要求1-5之一所述的用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:所述的电极爪为两片电极复合的电极爪,每片电极的一端是与弧形电极板匹配的弧形板,两片电极复合时,两片电极的弧形板八字分开,电极的弧形板与对应的弧形电极板夹持一组变径钨杆的端部后焊接。
7.根据权利要求1所述的用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器,其特征在于:制造电极爪、汇流钨环的材料均为粉末冶金后轧制形成的金属钨板;所述的制造变径钨杆、固定杆的材料均为粉末冶金后轧制形成的金属钨棒,变径钨杆由所述金属钨棒车削后成型。
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