[实用新型]一种晶棒切割系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种切片装置，特别的，是一种晶棒切割系统。

背景技术

在工业生产中，使用切片机将晶棒切成一个个晶片再进行包装、出厂；常用的方法是先将晶棒用胶体固定在切片晶托上，等胶体固化后使用运输小车夹持晶托，将其放在金属丝平面上，启动金属丝平面将晶棒切割成晶片，关闭仪器后抬起晶托，将晶托连同晶片放到去胶池中清洗；这种方法很复杂，需要粘胶、去胶，同时运输小车在搬运过程中容易出现滑落，损坏晶棒，甚至引发事故。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种改良的晶棒切割系统，该晶棒切割系统不需要用胶体固定晶棒即可将晶片切割，简化作业流程，提高工作效率；同时，改良了晶棒运送到金属丝平面的作业流程，有效减少晶棒损伤。

为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案是：本晶棒切割系统包括一个由金属切割丝等距、平行排布所成的金属丝平面；在所述金属丝平面的上方，有一对与所述金属丝平面垂直的活动夹板，有一夹板控制器调节所述活动夹板的开合及上下移动；在这对所述活动夹板的内壁上有限制晶棒轴向位移的限位棱；在所述金属丝平面的下方，有一块与金属丝平面平行的活动支撑板；所述活动支撑板由支撑板控制器调节其上下及左右移动；在所述支撑板的两侧，装置一对与上述活动夹板结构相同的定位板。

本实用新型的有益效果是：将晶棒通过传输带运送到金属丝平面上，用夹板控制器调节活动夹板夹住晶棒，并使其内壁上的限位棱卡住晶棒的两端，所述夹板下边缘紧贴金属丝平面；控制夹板调节晶棒位置，使其处于所述支撑板的正上方；启动切片机，金属切割丝转动，随着金属切割丝的切入，晶棒沿活动夹板内壁竖直滑动，所述活动夹板相对金属丝平面静止；调节支撑板控制器，使晶棒随活动支撑板逐渐下移；晶棒下移的过程中，所述定位板紧贴支撑板和晶棒，且定位板内壁上的限位棱卡在晶棒的两端；当晶棒被切割后，紧密排列的晶片束竖直立在支撑板上，调节支撑板控制器，将支撑板从切片机内侧向水平取出，将晶片束取出后，调节支撑板控制器使支撑板复位。整个过程中不需要用胶体固定晶棒，省去了粘胶、去胶、清洗等作业流程，简化生产工艺，节省作业时间，有效提高生产效率。

作为优选，所述支撑板的上表面有一排与金属切割丝一一对应的凹槽，在晶棒压在支撑板正上方时，每条金属切割丝正好位于支撑板上表面对应的凹槽内，金属切割丝不接触支撑板，在作业时不会切割到支撑板。

作为优选，所述夹板和定位板内壁上密布有竖条形纹路，以便于晶棒在内壁上以较小摩擦力竖直滑动且不产生水平位移。

作为优选，晶棒由一传输带运送到金属丝平面上，使得晶棒从载物台运送到金属丝平面处无竖直方向上的位移，有效防止晶棒损伤。

附图说明

图1为本实用新型实施例中切片机的示意图。

图2为本实用新型实施例中支撑板和定位板的结构示意图。

图3为本实用新型实施例中夹板的示意图。

具体实施方式：

实施例

在图1至图3所示的实施例中，包括一个由金属切割丝等距、平行排布所组成的金属丝平面3；在所述金属丝平面3的上方，有一对与所述金属丝平面3垂直的活动夹板1，有一夹板控制器调节所述活动夹板1的开合及上下移动；在这对所述活动夹板3的内壁上有限制晶棒轴向位移的限位棱11；在所述金属丝平面3的下方，有一块与金属丝平面3平行的活动支撑板4，所述活动支撑板4的上表面有一排与金属丝平面3一一对应的凹槽41；所述活动支撑板由支撑板控制器调节上下及左右移动；在所述支撑板的两侧，装置一对与上述活动夹板结构相同的定位板；所述活动夹板1和定位板2内壁上密布有竖条形纹路。