[实用新型]一种石英挠性加速度传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加速度传感器，尤其涉及一种具有玻璃摆片的石英挠性加速度传感器，属于加速度测量设备领域。

背景技术

石英挠性加速度传感器是惯性导航系统的主要元件之一，被广泛应用于航天、航空、航海及武器系统的导航制导与控制等领域。该传感器是一种机械摆式加速度传感器，主要通过将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号进行测量，具有精度高、灵敏度高、功耗低的特点，同时其结构简单、体积小、重量轻，便于使用和更换。

石英挠性加速度传感器包括机械表头和与它相连的伺服电路。其中，机械表头包括外壳、上力矩器、下力矩器和位于上力矩器和下力矩器之间的粘有线圈的玻璃摆片。该玻璃摆片是石英挠性加速度传感器的核心部件，包括支撑环、挠性支撑梁、摆和六个支撑凸台。从使用过程中来看，石英挠性加速度传感器最容易损坏的地方就是玻璃摆片的双挠性支撑梁，参见图1。

在授权公告号为CN203037666U的中国实用新型专利中，公开了一种抗振石英挠性加速度传感器，包括表头和与表头连接的集成电路，其中，表头包括壳体和位于壳体内部的表芯，表芯包括盖板、下力矩器和位于盖板和下力矩器之间的玻璃摆片。在该石英挠性加速度传感器中，玻璃摆片采用平头抗振设计，使得该石英挠性加速度传感器受到冲击、振动时，玻璃摆片的平头弦段部位对挠性梁受到的冲击有一个缓冲作用，更好地保护挠性梁，使挠性梁不容易发生断裂，从而使得石英挠性加速度传感器可以耐受更大程度的冲击、振动。但是，玻璃摆片是由高纯度合成光学石英玻璃作为材料加工出来的，而挠性支撑梁是经过化学腐蚀加工而成，梁的厚度大小较难控制，挠性支撑梁的质量好坏与工艺方法及工人技术熟练程度相关。挠性支撑梁的厚度是关键尺寸、必测参数，它决定着挠性支撑梁的好坏，但是挠性支撑梁非常薄且脆，用测量工具测量时容易折断挠性支撑梁，这就给玻璃摆片的生产带来了困难。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种具有玻璃摆片的石英挠性加速度传感器。

为实现上述目的，本实用新型采用下述的技术方案：

一种石英挠性加速度传感器，由表头和集成电路组成，所述表头内部的表芯还包括盖板、下力矩器和位于盖板和下力矩器之间的玻璃摆片，所述玻璃摆片弓形环状的支撑环1、挠性支撑梁2和摆3，所述支撑环1位于所述摆3的外缘，所述摆3通过所述挠性支撑梁2和所述支撑环1连接；其中，

所述玻璃摆片还包括摆舌4，所述摆舌4设置在左右两侧的挠性支撑梁2的中空空间中，所述摆舌4的一端与所述挠性支撑梁2相连接，另一端为自由端，所述摆舌的厚度与玻璃摆片的厚度相同。

其中较优地，所述摆舌与所述挠性支撑梁2一体成型。

其中较优地，所述摆舌4的宽度小于所述挠性支撑梁2的宽度，形成空隙5。

其中较优地，当所述摆舌折断时，所述支撑环1位于所述摆3的外缘，所述摆3通过所述挠性支撑梁2和所述支撑环1连接；其中，左右两侧的挠性支撑梁2之间为中空空间。

与现有技术相比较，本实用新型通过增加摆舌部件，测量摆舌的厚度，可以间接测量挠性支撑梁的厚度，从而解决了挠性支撑梁不易测量的技术问题。

附图说明

图1是现有技术中玻璃摆片的整体结构示意图；

图2是本实用新型所提供的石英挠性加速度传感器的主视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型的技术内容作进一步的说明。

本实用新型提供的石英挠性加速度传感器，包括表头和与表头连接的集成电路。其中，表头包括壳体和位于壳体内部的表芯，表芯包括盖板、下力矩器和位于盖板和下力矩器之间的玻璃摆片，该玻璃摆片由配重、玻璃摆片和固定在玻璃摆片上的线圈组成。