[实用新型]一种涂覆贴合和固化薄膜的设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种涂覆贴合和固化薄膜的设备。

背景技术

石墨烯是由单层碳原子构成的六方蜂窝状二维晶体。由于石墨烯具有优异的电学、力学、热学和光学特性，因此其在很多领域有着广泛的应用，例如用于制造透明电极、以及更薄、开关速度更快的电子元件等。

为了制备石墨烯电子器件，首要的问题是制备出大尺寸、具有优异电学性能的石墨烯薄膜，并转移至合适的目标基底上。转移方法通常为在石墨烯表面旋涂一层有机物，例如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)，然后在腐蚀液中把金属箔腐蚀掉，从而使由有机物薄膜和石墨烯薄膜构成的薄膜漂浮在腐蚀液表面。然后将此薄膜在去离子水中反复清洗，随后将由有机物薄膜支撑的石墨烯薄膜转移至其它衬底上，再用溶剂除去有机物薄膜，从而得到在其它衬底上的石墨烯薄膜。这种方法的本质是先将金属衬底/石墨烯结构吸附在一个转移载体上，再去掉金属衬底，然后再将载有石墨烯的载体转移到目标衬底上，再去掉载体，就可得到目标衬底/石墨烯薄膜的结构。此方法有以下几个缺点：一是很容易造成石墨烯薄膜的破损，二是石墨烯薄膜很容易褶皱，影响产品质量，三是过程复杂，操作难度较大。

中国专利文献CN103342472A公开了《一种转移石墨烯薄膜的方法》，其本质是将生长有石墨烯的金属衬底通过粘结剂直接与目标衬底贴合在一起，再通过化学腐蚀、电化学腐蚀、气泡剥离等方法把金属衬底去掉，就可得到石墨烯/粘结剂/目标衬底的结构，此方法工艺简单并且避免了石墨烯薄膜受到破损，适于石墨烯薄膜的应用和生产，但滚压贴合工艺不适合应用于金属衬底较厚(＞100um)的情况以及金属衬底形状不规则的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可以将各种厚度、各种形状的生长有石墨烯的金属衬底与目标基底贴合在一起的涂覆贴合和固化石墨烯的设备。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种涂覆贴合和固化薄膜的设备，包括至少一个涂覆贴合机构和至少一个固化机构；各涂覆贴合机构之间并联，各固化机构之间并联；所述涂覆贴合机构包括操作平台、移动支架、粘结剂涂覆装置和贴合装置；所述移动支架设置在操作平台上方；所述粘结剂涂覆装置和贴合装置均安装在移动支架上，并可以上下、左右、前后移动；所述移动支架、粘结剂涂覆装置和贴合装置均至少设有一个；所述固化机构包括传送带和固化箱体。

所述涂覆贴合机构的操作平台为硬质光滑平面。

所述每个涂覆贴合机构的移动支架设有多个，每个移动支架上均安装有粘结剂涂覆装置和贴合装置。

所述每个涂覆贴合机构的移动支架设有一个，每个移动支架上均安装有多个粘结剂涂覆装置和一个贴合装置。

所述涂覆贴合机构的贴合装置底部的贴合操作面由软质材料制成。

所述涂覆贴合机构还包括涂覆贴合机架、涂覆贴合电控箱、程序编辑器和控制按钮；所述涂覆贴合电控箱固定在涂覆贴合机架内；所述程序编辑器和控制按钮均与涂覆贴合电控箱电连接；所述操作平台和移动支架均固定在涂覆贴合机架上。

所述固化机构的传送带为耐高温传送带或者自身可以加热的传送带或者透明传送带。

所述固化机构的传送带的宽度为20mm～1000mm。

所述固化机构的固化箱体内装有光固化器件或热固化器件，固化箱体的顶面或者侧面设有抽风装置。

所述固化机构和还包括固化机架和固化电控箱；所述传送带和固化箱体均安装在固化机架上；所述固化箱体与固化电控箱电连接。

采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：(1)本实用新型可以将各种厚度、各种形状薄膜贴合在一起，比如将生长有石墨烯的金属衬底与目标基底贴合在一起，并能够精确控制涂覆粘结剂的轨迹及用量，避免了不必要的浪费；同时，可通过不同的贴合压力控制粘结层的厚度，固化机构设有传送带，可以实现石墨烯与目标基底贴合后的快速固化；本实用新型大大降低了生产成本，显著提高了工作效率，适合工业化生产。

(2)本实用新型的涂覆贴合机构的操作平台为硬质的光滑平面，这种结构能够提高生产效率，提高成品率，使机器稳定运行。

(3)本实用新型的涂覆贴合机构的贴合装置底部的贴合操作面由软质材料制成，能够有效保护石墨烯薄膜，防止贴合时的压力损坏石墨烯薄膜。

(4)本实用新型的贴合装置和固化装置之间可以设置拨杆类机构使本实用新型完全自动化。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的结构示意图。