[实用新型]基于超材料的肖特基型远红外多谱信号探测器

权利要求书

1.一种基于超材料的肖特基型远红外多谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层、超材料层、欧姆电极、和一对肖特基电极，其特征在于，欧姆电极和肖特基电极分别设置于超材料层的左右两端，超材料层与N型砷化镓层形成肖特基接触，超材料层包括多个可以以任意方式排列的金属开环共振单元阵列，且为具有周期性微纳米结构的金属层，金属开环共振单元阵列的金属开环共振单元开孔间距t＝80～200nm，线宽d＝200～600nm，周期L＝500～2000nm。

2.根据权利要求1所述的肖特基型远红外多谱信号探测器，其特征在于，所述周期性微纳米结构的金属层包含了多种图形及其特征尺寸参数，其对于特定电磁波具有完全吸收特性。

3.根据权利要求1所述的肖特基型远红外多谱信号探测器，其特征在于，衬底层的材料是半绝缘砷化镓、硅、或三氧化二铝。

4.根据权利要求1所述的肖特基型远红外多谱信号探测器，其特征在于，欧姆电极的材料是镍、锗、以及金，其厚度分别为20-30nm、200-300nm和20-30nm。

5.根据权利要求1所述的肖特基型远红外多谱信号探测器，其特征在于，肖特基电极的材料是钛和金，其厚度分别为20-30nm和200-250nm。

6.根据权利要求1所述的肖特基型远红外多谱信号探测器，其特征在于，当超材料层用于电磁信号探测时，其周期性微纳米结构的周期应该远小于电磁信号的波长。

7.根据权利要求1所述的肖特基型远红外多谱信号探测器，其特征在于，金属开环共振单元阵列的制作材料为钛和金，其厚度分别为20～30nm和200～250nm。