[实用新型]多晶硅高效硅锭引晶装置有效
| 申请号： | 201420515734.9 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN204111922U | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 张军彦;吴洪坤;韩婷婷;冯文彪;张瑾;薛巍 | 申请（专利权）人： | 山西中电科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 太原华弈知识产权代理事务所 14108 | 代理人： | 李毅 |
| 地址： | 030032 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 高效 硅锭引晶 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅高效硅锭引晶装置，包括石英坩埚（1），在石英坩埚（1）的坩埚内表面上设置有氧化硅涂层（2），在石英坩埚（1）的坩埚底的氧化硅涂层（2）上均布有引晶颗粒（3），其特征在于，引晶颗粒（3）是由硅纯度大于99.99999%的引晶颗粒芯和粘合包覆层组成的，引晶颗粒芯的粒径为0.15-0.3毫米，在引晶颗粒芯的外表面上粘合有碳化硅碎粒或氮化硅碎粒的粘合包覆层，粘合包覆层中的碳化硅碎粒或氮化硅碎粒的粒径小于或等于0.003毫米。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅高效硅锭引晶装置，其特征在于，引晶颗粒芯的体积与粘合包覆层的体积的比为1：2-1：5。
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