[实用新型]一种大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构有效
申请号: | 201420515829.0 | 申请日: | 2014-09-10 |
公开(公告)号: | CN204111924U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 唐青岗;魏国;吴金友;陶勇;杨维兵 | 申请(专利权)人: | 韩华新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人: | 刘喜莲 |
地址: | 222000 江苏省连*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 多晶 铸锭 新型 结构 | ||
1.一种大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:包括由上保温板、下保温板和侧保温板围成的隔热笼,上保温板上设有伸入到隔热笼内的进气管,在隔热笼内下部设有定向凝固块,定向凝固块的下部设有若干根支撑定向凝固块的石墨支撑柱,在定向凝固块上设有石墨坩埚,石墨坩埚内设有石英坩埚,在石墨坩埚的周围设有石墨加热器,在石墨坩埚的底部四周与侧保温板之间设有与侧保温固定的隔温板。
2.根据权利要求1所述的大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:所述的石墨加热器为片状石墨加热器。
3.根据权利要求1或2所述的大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:所述的石墨加热器包括设在石墨坩埚上方的若干片上石墨加热器,设在石墨坩埚四周的若干片侧石墨加热器和设在石墨坩埚下方的若干片下石墨加热器;上石墨加热器距上保温板下表面的距离为10-100mm,下石墨加热器距定向凝固块的距离为10-100mm,侧石墨加热器距侧保温板距离为20-250mm、距上石墨加热器的距离为50-250mm。
4.根据权利要求3所述的大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:所述的上石墨加热器和侧石墨加热器均通过悬臂吊装在上保温板上,所述的下石墨加热器通过悬臂吊装在侧保温板上。
5.根据权利要求3所述的大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:所述的上石墨加热器设有8-12片,每片上石墨加热器的长度均为1100-1360mm,宽度为20-200mm,厚度为5-20mm。
6.根据权利要求3所述的大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:所述的下石墨加热器设有6-8片,每片下石墨加热器的长度为1100-1360mm,宽度为20-200mm,厚度为5-20mm。
7.根据权利要求3所述的大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:在石墨坩埚的一侧设有1-5片侧石墨加热器,每片的长度为1100-1360mm,宽度为20-200mm,厚度为5-20mm。
8.根据权利要求3所述的大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:所述的侧石墨加热器为矩形、U形、S形或蛇形。
9.根据权利要求1所述的大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:石墨坩埚由石墨侧板和石墨底板构成。
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