[实用新型]一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置

权利要求书

1.一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置，其特征在于：所述抛光装置主体为表层涂有微细磨粒的抛光盘(1)，所述抛光盘(1)背面装有半导体制冷片(13)，所述抛光盘(1)底部设有至少三圈由半导体制冷片(13)环形排列组成的温控带，每圈所述温控带的半导体制冷片(13)统一控制，每圈所述温控带独立控制；所述抛光盘(1)上方还设有装有激光表面粗糙度测量仪(7)的悬臂导轨(8)，所述激光表面粗糙度测量仪(7)用于测量抛光盘(1)表面粗糙度从而对所述微细磨粒分布情况进行分析，进而通过控制每圈所述温控带的温度以调整抛光盘(1)表面平整度。 

2.根据权利要求1所述的一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置，其特征在于：所述微细磨粒均匀涂抹于抛光盘(1)表面，且能够溶解于冷却液中，其溶解度受到温度的影响，其温度越高溶解度越高。 

3.根据权利要求1所述的一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置，其特征在于：所述抛光盘(1)厚度适中，导热性适中，能够保证当半导体制冷片(13)贴于其背面时，在影响对应区域温度的同时又不会对周边区域温度产生太大影响。 

4.根据权利要求1所述的一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置，其特征在于：所述半导体制冷片(13)跟随抛光盘(1)转动，所述半导体制冷片(13)连接设在抛光盘(1)下方用于给半导体制冷片(13)供电的碳刷(11)。 

5.根据权利要求1所述的一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置，其特征在于：所述悬臂导轨(8)平行于抛光盘(1)表面，激光表面粗糙度测量仪(7)沿着悬臂导轨(8)平行于抛光盘(1)表面作直线运动。 

6.根据权利要求1所述的一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置，其特征在于：所述每个温控带的半导体制冷片(13)通过导线(3)串联在一起，所述每个温控带的半导体制冷片(13)通过碳刷(11)与导线(3)连接成回路。