[实用新型]一种减少多晶硅还原炉尾气中硅粉含量的装置

权利要求书

1.一种减少多晶硅还原炉尾气中硅粉含量的装置，所述尾气包含硅粉、氢气、二氯二氢硅气体、三氯氢硅气体和四氯化硅气体，其特征在于，所述装置包括氯化氢气体提供单元，其通过氯化氢气体管道与还原炉尾气管道相连，用于在还原炉内的多晶硅棒生长后期向所述还原炉尾气管道中通入氯化氢气体，所述氯化氢气体能够与所述尾气中的硅粉发生反应生成氯硅烷气体和氢气从而减少所述尾气中硅粉的含量。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括氯化氢气体流量控制单元，其设置在所述氯化氢气体管道上，用于控制所述氯化氢气体提供单元向所述还原炉尾气管道中通入预定流量的氯化氢气体。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述预定流量的氯化氢气体的流量为15kg/h～30kg/h。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述氯化氢气体管道与所述还原炉尾气管道的连接处设置有进料口；所述进料口包括一个位于中心的主进料口和至少两个位于四周且均匀分布的副进料口。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述主进料口采用圆柱状结构，该圆柱状主进料口的直径为10mm～15mm；每个所述副进料口采用螺旋式结构，该螺旋式副进料口与水平面的夹角为60°。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第一换热单元，其分别与三氯氢硅和氢气的混合气进料管道、所述还原炉尾气管道的位于其与所述氯化氢气体管道的连接处之后的管道相连，用于使所述三氯氢硅和氢气的混合气进料管道中的进料气与所述还原炉尾气管道的位于其与所述氯化氢气体管道的连接处之后的管道中的尾气进行换热处理，从而提高所述进料气的温度。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一换热单元采用三层套管结构，该三层套管结构的管程用于传输所述三氯氢硅和氢气的混合气进料管道中的进料气、壳程用于传输所述还原炉尾气管道的位于其与所述氯化氢气体管道的连接处之后的管道中的尾气、夹套用于传输冷却介质。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第一测温单元和第二测温单元，所述第一测温单元设置在位于还原炉的出气端处的还原炉尾气管道上，用于测量还原炉的出气端的温度，所述第二测温单元设置在位于还原炉的进气端处的三氯氢硅和氢气的混合气进料管道上，用于测量还原炉的进气端的温度。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第二换热单元和取样分析单元，所述还原炉尾气管道的位于其与所述氯化氢气体管道的连接处之后的管道上设置有取样口，所述第二换热单元分别与所述取样口和取样分析单元相连，用于对从所述取样口流出的尾气进行换热处理，以使得从所述取样口流出的尾气中的氯硅烷气体液化，所述取样分析单元用于检测从所述取样口流出的经过所述第二换热单元换热处理后的尾气的澄清度和尾气中硅粉颗粒的含量。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的装置，其特征在于，所述还原炉尾气管道采用双层套管结构，该双层套管结构的管程用于传输尾气、壳程用于传输冷却介质。