[实用新型]芯片接合装置有效
申请号: | 201420526963.0 | 申请日: | 2014-09-12 |
公开(公告)号: | CN204088268U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 佐藤晃一;黄民;池田圭;向井康人 | 申请(专利权)人: | 株式会社华祥;澁谷工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58;H01L21/60 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 姜虎;陈英俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 接合 装置 | ||
1.一种芯片接合装置,具备:
粘合剂储存部,用于储存粘合剂;
压印针,通过与所述粘合剂储存部的粘合剂接触而使粘合剂附着在尖端部,
所述芯片接合装置将附着于所述尖端部的粘合剂涂布在工件上,并借助被涂布在该工件上的粘合剂将芯片贴装在工件上,
其特征在于,
具备吸嘴,所述吸嘴设置在所述粘合剂储存部的上方,用于抽吸与该粘合剂储存部的所述粘合剂接触的所述压印针的所述尖端部上产生的粘合剂拉丝。
2.根据权利要求1所述的芯片接合装置,其特征在于,
所述压印针在所述粘合剂储存部中使所述粘合剂附着于所述尖端部后,上升并经过所述吸嘴的顶端开口部的前方。
3.根据权利要求2所述的芯片接合装置,其特征在于,
所述压印针在经过所述吸嘴的顶端开口部的前方之后,停留规定时间。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的芯片接合装置,其特征在于,
当所述压印针的尖端部经过所述吸嘴的顶端开口部的前方之后,所述吸嘴进行规定时间的抽吸动作。
5.根据权利要求1至3中的任一项所述的芯片接合装置,其特征在于,
在所述吸嘴的抽吸路径中设有粘合剂积存部。
6.根据权利要求4所述的芯片接合装置,其特征在于,
在所述吸嘴的抽吸路径中设有粘合剂积存部。
7.根据权利要求1至3中的任一项所述的芯片接合装置,其特征在于,
所述吸嘴固定设置在所述粘合剂储存部上方的规定位置上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造