[实用新型]FCCSP全自动在线清洗机

权利要求书

1.FCCSP全自动在线清洗机，包括机体，其特征在于：所述机体内设置用于传送覆晶载板的两个水平设置的上胶辊组和下胶辊组，上胶辊组和下胶辊组分别包括多个胶辊，所述上胶辊组和下胶辊组之间设有用于覆晶载板通过的间隙，在上胶辊组和下胶辊组的上方且沿覆晶载板运行方向上依次设置有化学清洗室、化学隔离室、DI水预洗室、第一风切干燥室、DI水漂洗室、喷淋室、第二风切干燥室和热风干燥室，所述化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中均安装有上风刀和下风刀，所述上风刀和下风刀用于清理覆晶载板表面的清洗液体，所述化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽，所述扫风槽用于增大覆晶载板被扫风的面积，所述扫风槽为沿胶辊径向设置的环形凹槽，所述胶辊上设有多个扫风槽且沿胶辊轴向均匀设置。

2.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述DI水预洗室、第一风切干燥室通过管路连接第二槽，所述第二槽用于收集DI水预洗室、第一风切干燥室中的DI水，所述第二槽中的DI水通过第二泵返回DI水预洗室；所述DI水漂洗室通过管路连接第三槽，所述第三槽用于收集DI水漂洗室中的DI水，所述第三槽中的DI水通过第三泵返回DI水漂洗室；所述喷淋室、第二风切干燥室通过管路连接第四槽，所述第四槽用于收集喷淋室、第二风切干燥室中的DI水，所述第四槽中的DI水通过第四泵返回喷淋室；

所述第四槽中的DI水可流入第三槽，所述第三槽中的DI水可流入第二槽。

3.根据权利要求2所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述第四槽设有流入管路，所述DI水可通过流入管路补充到第四槽。

4.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述化学清洗室、化学隔离室通过管路连接第一槽，所述第一槽用于收集化学清洗室、化学隔离室中的清洗液，所述第一槽中的清洗液通过第一泵返回化学清洗室。

5.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述化学清洗室、DI水预洗室、DI水漂洗室和喷淋室中均安装有上喷淋杆和下喷淋杆。

6.根据权利要求5所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述上喷淋杆和下喷淋杆有多组，所述上喷淋杆和下喷淋杆均设有喷头，所述相邻上喷淋杆的喷头在竖直方向的投影交错设置，所述相邻下喷淋杆的喷头在竖直方向的投影交错设置。

7.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述上风刀和下风刀与胶辊组所在平面之间的夹角呈70°-80°。

8.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述胶辊为耐腐蚀胶辊，所述胶辊为EDMP材料制成。

9.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述FCCSP全自动在线清洗机还包括动力轴，动力轴用于对胶辊提供动力，所述动力轴有多个，所述动力轴与下胶辊组中的胶辊齿啮合，所述下胶辊组中的奇数个胶辊与奇数动力轴齿啮合，下胶辊组中的偶数个胶辊与偶数动力轴齿啮合，所述下胶辊组中的胶辊通过直齿与上胶辊组中的胶辊齿啮合。

10.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于：所述化学清洗室和化学隔离室内设有除雾冷凝器；所述除雾冷凝器用于提高化学清洗室和化学隔离室内可见度并冷凝收集气态清洗液。