[实用新型]一种超精密气浮电主轴

权利要求书

1.一种超精密气浮电主轴，其特征在于，包括电主轴座、电主轴、第一气浮轴承、第二气浮轴承、第三气浮轴承、主轴端盖、轴向间隙调整板、电机转子、电机定子、电机套及冷却水套； 

所述电主轴座内设有第一气浮轴承，所述第一气浮轴承为径向气浮轴承，电主轴座内通过第一气浮轴承设有电主轴； 

所述电主轴一端设置有法兰；所述第二气浮轴承支撑设置在所述电主轴法兰上，并与所述法兰一端面相接触；所述第二气浮轴承的喷气嘴设置在所述第二气浮轴承与所述法兰的接触面上； 

所述第三气浮轴承支撑设置在所述电主轴法兰上，并与所述法兰另一端面相接触；所述第三气浮轴承的喷气嘴设置在所述第三气浮轴承与所述法兰的接触面上； 

所述主轴端盖固定于所述电主轴座的一端，且其与第三气浮轴承背离所述法兰的一端面贴合；所述主轴端盖轴向开设有第一通孔，所述电主轴一端穿过第一通孔； 

所述轴向间隙调整板设置在所述主轴端盖与电主轴座之间，且固定在电主轴座上； 

所述电机套固定于所述电主轴座的另一端； 

所述冷却水套为环筒状，且设置在所述电机套内，所述冷却水套与电机套过盈配合；所述电机定子设置于所述冷却水套内； 

所述电机转子通过转子涨套固定在电主轴上； 

所述转子涨套通过锁紧螺母固定在电主轴上。 

2.根据权利要求1所述的超精密气浮电主轴，其特征在于，所述第一气浮轴承为圆台形，并且靠近所述法兰的一端横截面的直径大于另一端横截面的直径。 

3.根据权利要求1所述的超精密气浮电主轴，其特征在于，还包括安装盘、光栅尺及读数头调整垫，所述安装盘轴向开设有第三通孔，所述电主轴另一端穿过第三通孔，并且所述安装盘固定于所述电机套远离电主轴座的一端； 

所述读数头调整垫设置在安装盘上； 

所述光栅尺包括圆光栅和光栅读数头，所述光栅读数头设置在读数头调整 垫上；所述圆光栅轴向开设有第四通孔，所述电主轴穿过所述第四通孔；且所述圆光栅固定在电主轴上。 

4.根据权利要求1所述的超精密气浮电主轴，其特征在于，还包括转接盘，所述转接盘设置在所述电主轴座与电机套之间；所述电机套通过所述转接盘固定在所述电主轴座上。 

5.根据权利要求1所述的超精密气浮电主轴，其特征在于，还包括旋转接头过度盘、旋转接头、旋转接头安装套、旋转接头压盖及真空吸盘； 

所述电主轴内轴向设有导气孔，所述导气孔经过电主轴的中心轴向贯穿所述电主轴，且所述导气孔位于所述电主轴另一端内的部分呈喇叭状； 

所述旋转接头过度盘一端开设有圆形槽，所述圆形槽的直径略大于所述电主轴的另一端的横截面的直径，所述电主轴的另一端设置在圆形槽内；所述旋转接头过度盘与电主轴相固定，且所述旋转接头过度盘轴向开设有与所述电主轴的导气孔同轴的第九通孔； 

所述旋转接头安装套包括固定部和转接部，所述固定部与旋转接头过度盘相固定，并且所述固定部轴向开设有第五通孔，且所述第五通孔与所述旋转接头过度盘的第九通孔同轴设置；所述转接部为筒状，固定在固定部的一端，与固定部成一体式结构； 

所述旋转接头为阶梯状并可转动地设置于所述转接部内；且所述旋转接头轴向开设有第六通孔，并且与所述旋转接头安装套的固定部的第五通孔同轴； 

所述旋转接头压盖轴向开设有第七通孔，所述第七通孔的孔径略大于所述旋转接头最小阶梯横截面直径，所述旋转接头穿过第七通孔，且所述旋转接头压盖固定在所述旋转接头安装套的转接部远离固定部的一端；

所述真空吸盘固定在所述电主轴一端上，且所述真空吸盘轴向开设有第八通孔，所述第八通孔与所述电主轴的导气孔连通。