[实用新型]一种基于微环的掩埋沟道式带宽调谐器件

权利要求书

1.一种基于微环的掩埋沟道式带宽调谐器件，其特征在于：包括波导基层、输入直波导、微环波导、输出直波导、隔离层和金属加热片，所述输入直波导、微环波导和输出直波导并排依次位于波导基层上，所述波导基层上开有与输入直波导和输出直波导垂直并通过微环波导圆心的掩埋型沟道，所述隔离层位于输入直波导、微环波导和输出直波导上，所述金属加热片沉积于隔离层上；所述输入直波导、微环波导之间具有满足狭缝波导条件且狭缝耦合区能量最高的输入间隔，所述微环波导和输出直波导之间具有满足狭缝波导条件且狭缝耦合区能量最高的输出间隔，所述金属加热片位于所述输入间隔和输出间隔的上方。

2.如权利要求1所述的基于微环的掩埋沟道式带宽调谐器件，其特征在于：所述金属加热片有两片，分别为输入加热片和输出加热片，所述输入加热片位于所述输入间隔的上方，所述输出加热片位于所述输出间隔的上方。

3.如权利要求1或2所述的基于微环的掩埋沟道式带宽调谐器件，其特征在于：所述掩埋型沟道的宽度大于所述金属加热片的宽度。

4.如权利要求1或2所述的基于微环的掩埋沟道式带宽调谐器件，其特征在于：掩埋型沟道为矩形沟道。