[实用新型]一种打磨方形硅片边缘的夹具有效
申请号: | 201420534171.8 | 申请日: | 2014-09-17 |
公开(公告)号: | CN204053783U | 公开(公告)日: | 2014-12-31 |
发明(设计)人: | 申炳荣 | 申请(专利权)人: | 浙江昊能光电有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙) 33243 | 代理人: | 张向飞 |
地址: | 314415 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 打磨 方形 硅片 边缘 夹具 | ||
1.一种打磨方形硅片边缘的夹具,包括板状的底座(1)和固定在底座(1)上的固定板(2)和侧立板(3),其特征在于,所述侧立板(3)和固定板(2)互相平行,在所述的侧立板(3)和固定板(2)之间还设有导轨(4),所述导轨(4)固定在底座(1)上,所述导轨(4)上设有两块沿着导轨(4)滑动的夹紧块(5),所述夹紧块(5)的纵截面呈直角梯形状,所述夹紧块(5)的上端面为倾斜度为45°的斜面,两个夹紧块(5)的斜面互相垂直,所述夹紧块(5)的一侧面与固定板(2)紧贴,所述侧立板(3)上螺纹连接有若干压紧螺栓(6),所述压紧螺栓(6)上焊接有压紧板(7),所述压紧板(7)能分别与夹紧块(5)和方形硅片相抵靠。
2.根据权利要求1所述的一种打磨方形硅片边缘的夹具,其特征在于,所述压紧板(7)的端面粘贴有防滑橡胶垫(71)。
3.根据权利要求1所述的一种打磨方形硅片边缘的夹具,其特征在于,所述侧立板(3)上开有四个供压紧螺栓(6)穿过的螺纹孔(61),四个螺纹孔(61)呈圆周分布,其中位于下方的两个压紧螺栓(6)分别用于固定两个夹紧块(5),位于上方的两个压紧螺栓(6)用于固定方形硅片。
4.根据权利要求3所述的一种打磨方形硅片边缘的夹具,其特征在于,所述两块所述侧立板(3)的间隙为10cm~15cm。
5.根据权利要求1或3所述的一种打磨方形硅片边缘的夹具,其特征在于,所述夹紧块(5)的厚度为10cm。
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