[实用新型]衬底可剥离外延结构、太阳能电池及发光二极管外延结构有效
申请号: | 201420536931.9 | 申请日: | 2014-09-18 |
公开(公告)号: | CN204243024U | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 林志伟;张永;陈凯轩;姜伟;蔡建九;吴洪清;李俊承;方天足;卓祥景;张银桥;黄尊祥;王向武 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L33/22;H01L31/0352;H01L31/0725 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 361000 福建省厦门市火*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 剥离 外延 结构 太阳能电池 发光二极管 | ||
1.衬底可剥离外延结构,其特征在于:电池外延结构或外延发光结构与衬底之间设置牺牲层,牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成。
2.如权利要求1所述的衬底可剥离外延结构,其特征在于:所述的交替生长的AlInP/AlAs多层结构,其交替生长的对数为3-8对。
3.如权利要求1所述的衬底可剥离外延结构,其特征在于:AlInP层的单层厚度范围20-60nm。
4.如权利要求1所述的衬底可剥离外延结构,其特征在于: AlAs层的单层厚度范围40-150nm。
5.如权利要求1所述的衬底可剥离外延结构,其特征在于:交替生长的AlInP/AlAs多层结构的第一层为AlInP层,且与衬底相邻。
6.如权利要求1所述的衬底可剥离外延结构,其特征在于:交替生长的AlInP/AlAs多层结构的最后一层为AlInP层,且与外延结构相邻;最后一层的AlInP层的厚度较其它AlInP层厚。
7.衬底可剥离太阳能电池外延结构,其特征在于:电池外延结构与衬底之间设置牺牲层,牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成;电池外延结构由下自上依次设置欧姆接触层、顶电池窗口层、顶电池发射区、顶电池基区、顶电池BSF层、中顶电池隧穿结、中电池窗口层、中电池发射区、中电池基区、中电池BSF层、中底电池隧穿结、组分渐变层、底电池窗口层、底电池发射区、底电池基区及底电池BSF层组成,且欧姆接触层与牺牲层相邻。
8.衬底可剥离发光二极管外延结构,其特征在于:外延发光结构与衬底之间设置牺牲层,牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成;发光外延结构由下自上依次设置的第一型导电层、有源层及第二型导电层组成,且第一型导电层与牺牲层相邻。
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