[实用新型]一种用于曝光的新型光刻板夹具有效
申请号: | 201420537941.4 | 申请日: | 2014-09-18 |
公开(公告)号: | CN204086812U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 查达其;冯亚宁;袁德成;张意远 | 申请(专利权)人: | 上海美高森美半导体有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海京沪专利代理事务所(普通合伙) 31235 | 代理人: | 周志宏 |
地址: | 201108 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 曝光 新型 刻板 夹具 | ||
1.一种用于曝光的新型光刻板夹具,其特征在于,它包括有金属框架、中空管、玻璃板、压条、固定螺钉,所述金属框架的本体内设有环绕框架的通道,金属框架的下横档设有供安装中空管的连接口、连接口与通道贯通,金属框架的本体的背侧端面设有与所述通道对应的凹槽,凹槽底部设有若干小孔与通道相连,金属框架的背侧端面内框设有供安装玻璃板的台阶,金属框架的上横档设有供安装压条的螺孔,所述中空管固定在金属框架的下横档上,玻璃板镶嵌在金属框架的台阶上,玻璃板与金属框架的背侧端面齐平,压条通过螺钉固定在金属框架上横档上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海美高森美半导体有限公司,未经上海美高森美半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420537941.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:汉麻双层双面防紫外线面料
- 下一篇:铝塑板