[实用新型]提拉杆防抖动系统及激光晶体炉有效

专利信息
申请号: 201420546349.0 申请日: 2014-09-22
公开(公告)号: CN204125565U 公开(公告)日: 2015-01-28
发明(设计)人: 黄晋强;权纪亮 申请(专利权)人: 广州半导体材料研究所
主分类号: C30B27/02 分类号: C30B27/02
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 王园园;万志香
地址: 510610 广*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 拉杆 抖动 系统 激光 晶体
【权利要求书】:

1.一种提拉杆防抖动系统,其特征在于,包括密封元件、中空管、提拉杆及用于驱动所述提拉杆升降运动的滑动装置; 

所述中空管的一端与密封元件的一端密封连接,所述密封元件的另一端与所述滑动装置密封连接; 

所述提拉杆的一端连接于所述滑动装置,另一端穿过所述密封元件及中空管,并延伸至晶体炉顶部的通孔内。 

2.根据权利要求1所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述滑动装置包括中空导轨、匹配于所述中空导轨的滑块及驱动所述滑块升降运动的驱动机构,所述中空导轨固定于所述晶体炉顶部; 

所述提拉杆的一端连接于所述滑块,所述密封元件为磁流体,所述磁流体、中空管、提拉杆位于所述中空导轨的内部。 

3.根据权利要求2所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,还包括至少两个支架,所述中空管的外壁通过所述支架连接于所述中空导轨的内壁。 

4.根据权利要求3所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述支架均匀分布于所述中空管的外侧。 

5.根据权利要求1-4任意一项所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述滑动装置、密封元件、中空管及晶体炉顶部的通孔沿竖直方向依次上下设置。 

6.根据权利要求1-4任意一项所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述中空管的外径匹配于晶体炉顶部的通孔的内径。 

7.根据权利要求1-4任意一项所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述提拉杆为圆柱状。 

8.根据权利要求7所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述中空管为波纹管,所述提拉杆的外径小于所述波纹管的内径。 

9.一种激光晶体炉,包括籽晶杆、熔体炉及旋转装置,所述晶体炉顶部具有通孔,其特征在于,还包括权利要求1-8任意一项所述的提拉杆防抖动系统; 

所述旋转装置连接于所述提拉杆且驱动所述提拉杆沿径向旋转运动; 

所述中空管的末端与所述晶体炉顶部的通孔密封连接,所述籽晶杆的一端连接于所述提拉杆的末端,籽晶杆另一端的末端设有所述熔体炉。 

10.根据权利要求9所述的激光晶体炉,其特征在于,所述滑动装置、密封元件、中空管、籽晶杆及熔体炉沿竖直方向依次上下设置。 

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州半导体材料研究所,未经广州半导体材料研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420546349.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top