[实用新型]提拉杆防抖动系统及激光晶体炉有效
申请号: | 201420546349.0 | 申请日: | 2014-09-22 |
公开(公告)号: | CN204125565U | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 黄晋强;权纪亮 | 申请(专利权)人: | 广州半导体材料研究所 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 王园园;万志香 |
地址: | 510610 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 拉杆 抖动 系统 激光 晶体 | ||
1.一种提拉杆防抖动系统,其特征在于,包括密封元件、中空管、提拉杆及用于驱动所述提拉杆升降运动的滑动装置;
所述中空管的一端与密封元件的一端密封连接,所述密封元件的另一端与所述滑动装置密封连接;
所述提拉杆的一端连接于所述滑动装置,另一端穿过所述密封元件及中空管,并延伸至晶体炉顶部的通孔内。
2.根据权利要求1所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述滑动装置包括中空导轨、匹配于所述中空导轨的滑块及驱动所述滑块升降运动的驱动机构,所述中空导轨固定于所述晶体炉顶部;
所述提拉杆的一端连接于所述滑块,所述密封元件为磁流体,所述磁流体、中空管、提拉杆位于所述中空导轨的内部。
3.根据权利要求2所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,还包括至少两个支架,所述中空管的外壁通过所述支架连接于所述中空导轨的内壁。
4.根据权利要求3所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述支架均匀分布于所述中空管的外侧。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述滑动装置、密封元件、中空管及晶体炉顶部的通孔沿竖直方向依次上下设置。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述中空管的外径匹配于晶体炉顶部的通孔的内径。
7.根据权利要求1-4任意一项所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述提拉杆为圆柱状。
8.根据权利要求7所述的提拉杆防抖动系统,其特征在于,所述中空管为波纹管,所述提拉杆的外径小于所述波纹管的内径。
9.一种激光晶体炉,包括籽晶杆、熔体炉及旋转装置,所述晶体炉顶部具有通孔,其特征在于,还包括权利要求1-8任意一项所述的提拉杆防抖动系统;
所述旋转装置连接于所述提拉杆且驱动所述提拉杆沿径向旋转运动;
所述中空管的末端与所述晶体炉顶部的通孔密封连接,所述籽晶杆的一端连接于所述提拉杆的末端,籽晶杆另一端的末端设有所述熔体炉。
10.根据权利要求9所述的激光晶体炉,其特征在于,所述滑动装置、密封元件、中空管、籽晶杆及熔体炉沿竖直方向依次上下设置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州半导体材料研究所,未经广州半导体材料研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420546349.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:抓棉机抓手
- 下一篇:一种普洱茶压饼石模台