[实用新型]一种电子真空泵及其叶轮

权利要求书

1.一种用于电子真空泵的叶轮，包括 

偏心设置在电子真空泵的定子内的转子，以及多个叶片， 

所述转子上均匀开有多个叶片槽，所述叶片第一端插入所述叶片槽，第二端与所述定子内壁接触， 

其特征在于， 

所述叶片第二端包覆有烧结碳层，所述转子中与所述定子内壁接触的外圆周面包覆有烧结碳层。 

2.如权利要求1所述的用于电子真空泵的叶轮，其特征在于，所述叶片与所述转子的叶片槽的内壁之间具有烧结碳层。 

3.如权利要求1所述的用于电子真空泵的叶轮，其特征在于，所述叶片是碳烧结件。 

4.一种电子真空泵，其特征在于，包括如权利要求1所述的叶轮。 

5.如权利要求4所述的电子真空泵，其特征在于，其出气口的排气管外接有一保护帽。 

6.如权利要求4所述的电子真空泵，其特征在于，所述叶轮和所述定子外罩有一消音罩。