[实用新型]一种热重分子束质谱联用装置

权利要求书

1.一种热重分子束质谱联用装置，包括热重分析仪（1）和质量分析器（4），其特征在于：还包括电离源（3）和分子束取样机构（2）；所述电离源（3）包括管状的电离腔和依次连接的第一电极（31）、第二电极（32）、第三电极（33），第三电极（33）的末端连接着质量分析器（4）的加速电极；分子束取样机构（2）为二级差分结构，包括管状的加热炉（12）和取样喷嘴，加热炉（12）内中部同轴设有坩埚（13），坩埚（13）的底部连通着支撑杆的上端，支撑杆的下端连通着热重分析仪（1）的天平；加热炉（12）内上部同轴设有取样喷嘴，取样喷嘴为二级差分结构，其下端为进口，且进口位于坩埚（13）的上方；加热炉（12）的上端连接电离源（3）的电离腔，且对应着第一电极（31）和第二电极（32）之间的电离区域；加热炉（12）的下端密封连接着热重分析仪（1）的外壳体；所述坩埚（13）上的被测物在温度作用下形成逸出产物（23），逸出产物（23）在气压作用下经过分子束取样机构（2）进入电离源（3），再进入质量分析器（4），气压逐级递减，逸出产物（23）在电离源（3）的电离腔内形成分子束。

2.根据权利要求1所述的一种热重分子束质谱联用装置，其特征在于：二级差分结构的取样喷嘴包括结构相同的喷嘴管（21）和准直漏勺（22），所述准直漏勺（22）同轴位于喷嘴管（21）内；二者的上部均为直管，下部为圆锥管，圆锥管的下端为圆锥口；准直漏勺（22）下端的圆锥口位于喷嘴管（21）下端的圆锥口的上方，喷嘴管（21）下端的圆锥口为进口。

3.根据权利要求1所述的一种热重分子束质谱联用装置，其特征在于：所述取样喷嘴的材料为石英、陶瓷、玻璃碳；取样喷嘴和加热炉（12）安装时，二者之间采用石墨材料密封。

4.根据权利要求1或2所述的一种热重分子束质谱联用装置，其特征在于：所述电离源（3）中的第一电极（31）、第二电极（32）、第三电极（33）均为环形聚焦电极，所述电离源（3）位于取样喷嘴的上方，与坩埚（13）中逸出产物（23）形成的分子束垂直交叉；电离源（3）中的电离腔的下端固定密封连接着加热炉（12）的上端，电离腔的上端固定密封连接着第一分子泵（5）；电离源（3）加电压形成聚焦电场，第一分子泵（5）维持电离腔内的真空，在使用过程中，电离源（3）既可以使用电子轰击电离，也可以使用光电离。

5.根据权利要求1或2所述的一种热重分子束质谱联用装置，其特征在于：所述质量分析器（4）内为真空状态，真空度由第二分子泵（6）维持，在使用过程中，质量分析器（4）既可以是飞行时间质谱，也可以是四极质谱或离子阱质谱。