[实用新型]一种硅片切片机的切割线防跳线装置

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳能硅片加工技术领域，涉及一种切片机，特别是一种硅片切片机的切割线防跳线装置。

背景技术

切片机设备包括机架、用于固定工件的工作台、用于收放钢线的贮丝筒、多个用于为钢线进行导向的导线轮以及跨设在工作台相对两侧并可以升降作业的切割辊等，在对晶体硅棒的实际切割过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在工作台相对两侧的切割辊上形成一张线网，当工件被固定在所述工作台上时，将工作台相对两侧的切割辊降下来，并在压力泵在的作用下，装配在设备上的研磨剂自动喷洒装置将研磨剂喷洒至钢线和工件的切削部位，由钢线带动研磨剂往复高速运动，利用研磨砂对工件产生切削，以将工件一次同时切割为许多片。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，可将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片，多线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高，产能高，精度高等优点，多线切割技术是目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技术。

在现有技术中，是将切割线均匀地绕在圆柱形的贮线筒上，通过导线轮、切割辊等走线机构形成可以往返的走线系统。所述切割线经由导线轮引导缠绕至切割辊的即用走线槽中，以使得所述切割线在走线过程中不发生偏移。但是，在实际切割工件的过程中，由于导线轮的精度、线架的刚性及切割线在贮线筒上的张力不能均匀一致，再加上高速走线过程中切割线会不断地抖动，且走线过程为拉锯式往复运动，这样就很容易使切割线跳出，导致走线发生偏移，也就是跳线，具体地是说，切割线由原来的即用走线槽跳入旁边的备用走线槽中，则使所述切割线偏离原来位置，就导致了跳线现象的发生。

如中国专利公布的一种用于切割晶体硅棒的金刚线切片机【申请号：201010286087.5】，其至少包括：具有一工件切割区的机架，分别设置在工件切割区两侧的第一、第二切割辊，设置在第一、第二切割辊之间的第三切割辊，第三切割辊位于第一、第二切割辊同一水平面的上侧，且第三切割辊至第一切割辊或第二切割辊的间距小于第一切割辊至第二切割辊的间距；以及依次缠绕于所述第一、第三及第二切割辊上的金刚线，该金刚线在第三切割辊与第一切割辊之间以及与第二切割辊之间形成两段相对较短的切割线，在金刚线高速运行时，由该两段切割线同时对两个晶体硅棒进行切割作业。由于多线切割机的切割区间通常是封闭的，操作人员不能肉眼观察到跳线现象的发生，而由跳线引起的工件切割不精确，切割面产生纹路等问题直接影响到硅片加工的质量，严重者，更会造成硅片的浪费，不但浪费时间和成本，同时也降低了生产的效率，实为不容忽视的一大问题；再者，为了解决跳线的问题，相关领域之业者尝试额外增设走线的限位装置，但由于不同切割作业要求的走线间隔或走线精度不同，很难提出一种通用的防跳线方法的设计方案，为此，也浪费了不少的设计及制造成本。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种硅片切片机的切割线防跳线装置，以解决现有技术的切片机在切割过程中，容易产生跳线现象进而影响到硅片的加工质量，浪费时间和成本以及降低生产效率等问题。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种硅片切片机的切割线防跳线装置，切片机包括机架、分别设置在工件切割区两侧的第一切割辊、第二切割辊，设置在第一切割辊、第二切割辊之间的第三切割辊，以及依次缠绕于所述第一切割辊、第三切割辊及第二切割辊上的金刚线，第三切割辊位于第一切割辊、第二切割辊同一水平面的上侧，其特征在于，本硅片切片机的切割线防跳线装置包括呈长方形板状的限位板，所述限位板的边缘上开有若干限位槽，所述限位槽呈长条形，所述机架上设有电机座和固定在电机座上的电机，所述限位板的一侧焊接固定有长条状的支撑杆，所述支撑杆上具有齿条，所述支撑杆穿过机架并可相对机架水平滑动，所述电机的输出轴上固定有与齿条啮合的齿轮。

在上述的硅片切片机的切割线防跳线装置中，所述限位板上侧的限位槽与位于第一切割辊和第三切割辊之间的金刚线一一对应，所述限位板下侧的限位槽与位于第一切割辊和第二切割辊之间的金刚线一一对应。

在上述的硅片切片机的切割线防跳线装置中，所述限位板的厚度为5mm～10mm。

在上述的硅片切片机的切割线防跳线装置中，所述限位槽的宽度为800um～1000um。金刚线的直径为100um～250um，金刚线在切割时抖动是难免的，所以限位槽的宽度设置在800um～1000um，既可以防止跳线，又能防止金刚线长时间摩擦槽壁。