[实用新型]一种掩模板硬质框架载台有效

专利信息
申请号: 201420559207.8 申请日: 2014-09-27
公开(公告)号: CN204224690U 公开(公告)日: 2015-03-25
发明(设计)人: 魏志凌;杨涛;张炜平 申请(专利权)人: 昆山允升吉光电科技有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/50
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地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 模板 硬质 框架
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于OLED掩模板组装领域,涉及一种掩模板硬质框架载台。

背景技术

有机发光显示器(Organic Light-Emitting Diode,简称OLED)是下一代的显示技术,与目前使用的液晶显示器( Liquid Crystal Display ,简称LCD)显示技术相比,具有可视角大,色彩艳丽,功耗低等优点,会逐渐替代目前主流的液晶显示技术。

在OLED显示器面板的制作过程中,其中有机层的沉积会使用到掩模板,图1所示为采用掩模板蒸镀有机材料的示意图。掩模板10由于比较薄,在蒸镀前会通过焊接等工艺组装到硬质框架11上,图2所示为将掩模板10固定于硬质框架上的平面示意图。蒸镀时,掩模板10借助硬质框架11固定在支撑台12上,蒸镀源13中的有机材料通过蒸发扩散至掩模板10下方,掩模板10上在一定的位置设置有开口100,有机材料通过开口100沉积在沉积基板14上对应的位置处,形成有机沉积层。

为了提高OLED显示器面板的生产效率,需要将掩模板的尺寸做大,由于掩模板上开口的位置精度为掩模板的关键质量参数,增大掩模板的尺寸对掩模板组装到硬质框架的要求越来越高;另外,由于掩模板的尺寸做大,用于固定掩模板的硬质框架质量越来越重,纯人工装载、调节愈发受到限制。

基于此,业界亟需一种能够较好解决以上问题的技术方案。

实用新型内容

根据本专利背景技术中所述,为了提高OLED显示器面板的生产效率,需要将掩模板的尺寸做大,由于掩模板上开口的位置精度为掩模板的关键质量参数(掩模板上开口的位置精度直接影响其蒸镀有机材料的质量),增大掩模板的尺寸对掩模板组装到硬质框架的要求越来越高;另外,由于掩模板的尺寸做大,用于固定掩模板的硬质框架质量越来越重,纯人工装载、调节愈发受到限制。

有鉴于此,本实用新型提供了一种掩模板硬质框架载台,旨在为掩模板组装过程提供一个硬质框架的承载平台,该承载平台具有较强的机动性及实用性,能够较好的满足掩模板高精度组装的的要求。

本实用新型提供的一种掩模板硬质框架载台具体方案如下,该载台包括:基架、顶起机构、调平机构、支撑板以及定位机构,所述基架由底板及设置在所述底板上的侧板构成,用于安装所述顶起机构和所述调平机构;所述顶起机构由至少4个垂直设置在所述基架底板上的升降驱动装置与至少2个水平设置在所述升降驱动装置上方的顶板构成,所述顶板通过所述升降驱动装置的运动完成上升或下降动作;所述调平机构由至少4个垂直设置在所述基架上的电动执行器及设置在每个电动执行器上方的调平板构成;所述支撑板设置在所述调平机构的调平板上方,通过配合调节所述调平机构的所述电动执行器可以调整所述支撑板的水平位置,所述支撑板用于承载所述硬质框架;所述定位机构设置在所述支撑板或所述顶起机构的顶板上,所述硬质框架通过所述定位机构定位在所述支撑板上的确定位置。

进一步,构成所述基架的底板为U型结构或封闭的框架结构,所述底板两对侧对称的设置有两块垂直于所述底板的侧板。

为了使顶起机构能够按预设路径运动,所述顶起机构的每一个所述升降驱动装置侧边还配套设置有顶起导向装置,所述顶起导向装置由顶起导向轴及顶起导向基座构成,所述顶起导向轴的一端固定在所述顶板下方,所述顶起导向基座固定在所述基架上,所述顶起导向轴在所述顶起基座的限定下带动所述顶板在垂直方向进行运动。

进一步,所述顶起机构由4个垂直设置在所述基架上的所述升降驱动装置与2个水平设置在所述升降驱动装置上方的顶板构成,4个所述升降驱动装置分散对称的固定在所述基架底板的四角附近,所述水平设置的顶板为长条形结构,一个所述顶板与两套所述升降驱动装置匹配,所述升降驱动装置的上端通过浮动接头与所述顶板连接,所述升降驱动装置为为电缸或气缸。

进一步对载台的调平机构进行限定,所述调平机构包括有4个电动执行器,所述4个电动执行器分散对称的设置在所述基架的底板上,每个所述电动执行器两侧均设置有一个调平导向装置,所述调平导向装置包括固定的调平导向基座及活动的调平导向杆,所述电动执行器通过浮动接头与所述调平板连接,所述电动执行器两侧所述调平导向装置的调平导向杆上端固定于所述调平板的两端。

所述掩模板硬质框架载台的所述支撑板固定在所述调平机构的所述调平板上方,所述支撑板为中间镂空的方形框架结构,其上表面设置有与所述顶起机构的顶板相适应的凹陷结构,使得所述顶板下降到最低点时,所述顶板的上表面不高于所述支撑板的上表面。

进一步,所述支撑板与所述调平机构通过匹配的螺孔固定。

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