[实用新型]一种复合线锯

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种复合线锯。

背景技术

线锯切割是对半导体、水晶等各类单晶体、磁性材料、精密陶瓷、及其他硬脆材料进行切割的一种加工方法。游离磨料线锯目前已广泛地应用在半导体晶圆的切片工艺中，其利用钢线带动游离磨料(磨料加液体)来移除材料，但由于使用游离磨料线锯后所留下的磨料易污染环境，导致工业上的浪费，且其加工效率低，因此发展固定磨料线锯已成为工业界必然的趋势。相较于游离磨料线锯，固定磨料线锯的优点在于提升材料移除率以及加工磨料能充分被利用，能够有效的提高产能。

公开号JP2002331466的日本专利披露了一种树脂线锯，其目的在于通过提升磨料对于树脂线锯的附着力来防止磨料在线锯切割的过程中的脱落，其中，在一个钢琴线镀覆一个具有铜锌合金的电镀层，并在该电镀层上形成多个螺旋线沟，将磨料的一部分设置于所述螺旋线沟中。由于采用了这种结构，在切割过程中，即使结合层受到磨损及震动，该磨料也不易脱落，因为较大的磨料是以螺旋设置的，能增加磨屑的排出效率。而电镀层的表面积得以增加，并因此使该结合层对于该电镀层的附着力得以增加，从而防止了该结合层的脱离。然而，该专利是将磨料混合于有机材料后再涂布于线材的，因此，在有机材料固化时，将容易造成磨料聚集或磨料露出率不一致的问题，从而使结合层与磨料之间的附着力降低，并造成磨料脱落的情形产生。

公开号为201136688的台湾专利披露了一种复合线锯，其通过将树脂层结合磨料形成于裸在线，再覆盖一层金属层，以此抓持磨料。然而，该专利的技术方案在电镀过程中同样也常发生磨料聚集与分布不均匀的问题，而造成复合线锯对于加工对象的切割面不平坦的现象。

发明内容

为了解决现有技术中的不足，本实用新型的目的在于提供一种能够提高切速与承受张力，达到有效缩短加工时间与延长使用寿命，并降低加工时的摩擦力而提升被加工对象的切割面平坦度的复合线锯。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种复合线锯，其包括线材和结合层，所述结合层设在线材的表面，所述结合层包括形成于线材表面的石墨烯-树脂层，所述石墨烯-树脂层上嵌设有研磨颗粒。

所述研磨颗粒为金刚石颗粒、立方氮化硼颗粒、氧化铝颗粒、氧化硅颗粒中的一种或两种以上的混合。

所述线材为琴钢线、镀铜琴钢线或不锈钢线。

所述线材由两条或三条裸线相互绞合形成。

本实用新型采用以上技术方案，石墨烯-树脂层具有较好的伸长率与韧性，可避免线锯在高切速、高加工压力或使用过程中而产生裂缝，有效延长线锯的使用寿命。另外，石墨烯-树脂层在树脂中添加一定量的石墨烯，提供一种润滑的效果，可降低加工时的摩擦力，减少线锯的震动，提升被加工对象的切割面平坦度。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明：

图1为本实用新型一种复合线锯的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型包括线材1和结合层，所述结合层设在线材1的表面，所述结合层包括形成于线材1表面的石墨烯-树脂层2，所述石墨烯-树脂层2上嵌设有研磨颗粒3。

所述研磨颗粒3选取具有高硬度的材料，可以为金刚石颗粒、立方氮化硼颗粒、氧化铝颗粒、氧化硅颗粒中的一种或两种以上的混合。

所述线材1为琴钢线、镀铜琴钢线或不锈钢线。优选为镀铜琴钢线，以通过琴钢线的铜层增加电镀层与裸线间的附着力。

所述线材1由两条或三条裸线相互绞合形成。这样结构的线锯具有较高的柔韧性。

本实用新型中的石墨烯-树脂层2中的树脂可以为环氧树脂、酚醛树脂、甲基丙烯酸酯树脂或其组合，通过无溶剂方式涂布，得到平坦度较佳的线锯。

石墨烯-树脂层2的成型方法可以通过一具超高剪切力的分散装置将石墨烯均匀分散在树脂中。