[实用新型]一种两轴独立式高频大行程快速刀具伺服装置

权利要求书

1.一种两轴独立式高频大行程快速刀具伺服装置，由基体、驱动器、柔性铰链机构、检测元件以及刀架组成，其特征在于：支板(1005)和三个侧板(1002、1003、1006)分别与底板(1001)固定连接，柔性铰链机构(2003)下部通过螺栓与底板定位固定连接，上部通过螺栓与盖板(1004)固定连接；金刚石刀具(1007)通过刀架固连在柔性铰链机构上；音圈电机(2002)的定子垂直固定在右侧支板上，动子固定在柔性铰链机构上；压电陶瓷驱动器(2001)嵌套在柔性铰链机构上，随着柔性铰链机构在Z方向做大行程直线往复运动的同时，驱动柔性铰链机构在X方向做高频往复运动；X向直线式光栅尺和Z向直线式光栅尺分别沿X向和Z向贴附在铰链支架的运动部分，测得的Z向位移和X向位移分别为音圈电机和压电陶瓷驱动器的闭环控制提供反馈信号。

2.根据权利要求1所述的两轴独立式高频大行程快速刀具伺服装置，其特征在于：音圈电机(2002)驱动柔性铰链机构(2003)，使金刚石刀具(1007)在Z向做大行程直线式往复伺服运动，以满足较大“非回转对称性”的自由曲面加工创成要求，压电陶瓷驱动器(2001)驱动柔性铰链机构，使金刚石刀具在X向做高频往复运动，以消除切削原理误差，提高切削分辨率，获得满意的加工效率和表面质量；压电陶瓷驱动器嵌套在柔性铰链机构上，在随柔性铰链做Z向大行程往复伺服运动的同时，可单独驱动柔性铰链在X向做高频往复运动，保证金刚石刀具Z向和X向运动间的相对独立性。