[实用新型]真空溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种真空溅射镀膜装置，包括腔体、设于腔体内的靶材、多个传递辊以及多个挡板组件，所述腔体底部为阳极，所述靶材为阴极，所述传递辊用于传递被镀物，每一挡板组件设置在相邻的两个传递辊之间，且与腔体底部绝缘连接，其特征在于，该挡板组件包括固定板，绝缘件及挡板，所述固定板与腔体底部固定连接，所述绝缘件连接设置在固定板与挡板之间并使挡板与固定板、腔体底部绝缘。

2.根据权利要求1所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述腔体包括阴极盖及相对设置的阳极板框，所述阳极板框的底部作为阳极，所述靶材设置在阴极盖内，所述传递辊、挡板组件设置在阳极板框内，所述阳极板框上设置进口与出口以供被镀物进出该腔体。

3.根据权利要求2所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述阴极盖与阳极板框之间设置密封件。

4.根据权利要求1所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述固定板上设置固定孔，所述固定板通过固定件固定于腔体底部。

5.根据权利要求1所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述挡板包括基板以及设置在基板两侧的侧板，所述绝缘件位于两侧板及基板围成的空间内，所述侧板与固定板间隔设置。

6.根据权利要求5所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述侧板与固定板之间的间距为2-5mm，所述基板低于所述传递辊的最高点5-7mm。

7.根据权利要求5所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述挡板的截面呈U形或者Π形。

8.根据权利要求5所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述绝缘件与基板连接的一侧设置第一螺纹孔，所述绝缘件与固定板连接的一侧设置第二螺纹孔，所述基板、绝缘件和固定板之间通过螺丝连接，所述第一螺纹孔与第二螺纹孔不导通。

9.根据权利要求8所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述绝缘件与基板之间还设置螺孔板。

10.根据权利要求5所述的真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述侧板至少部分与绝缘件间隔。