[实用新型]具有防崩膜功能的PVD沉积室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜设备，尤其涉及一种具有防崩膜功能的PVD沉积室。

背景技术

常见的磁控溅射设备沉积腔室主要由阴极(靶材)，阳极框，主气管道和侧遮板组成，侧遮板和主气管道在生产过程中会沉积膜层，随着时间的推移逐渐变厚。由于阳极框和所镀膜层材质的热膨胀系数不同，所镀膜层积累到一定程度会从腔室的侧遮板和主气管会发生膜层崩落的情况，落在产品上造成不良。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有防崩膜功能的PVD沉积室。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种具有防崩膜功能的PVD沉积室，包括阴极、阳极框、主气管道、侧遮板、基板和金属网罩，所述阴极、所述阳极框和所述基板从上到下依次平行设置，所述侧遮板水平设置在所述阳极框内侧的两长边端，所述主气管道设置在所述侧遮板的上方，所述金属网罩包括第一网板、第二网板和第三网板，所述第一网板与所述主气管道的上弧相切，且所述第一网板的第一长边端与所述阳极框连接，所述第三网板附着在所述所述侧遮板的上侧面，所述第二网板与所述基板垂直设置，且所述第二网板的第一长边端与所述第一网板的第二长边端连接，所述第二网板的第二长边端与所述第三网板的第一长边端连接。

当主气管道和侧遮板发生崩渣时，会被金属网罩所限制，而不会脱落在基板上。

具体地，所述金属网罩的个数为两个，且分别设置在两个所述侧遮板的上方。

优选地，所述第二网板的宽度与所述主气管道的直径相等，所述第一网板的宽度与所述第三网板的宽度之和小于所述侧遮板的宽度。

具体地，所述第一网板、所述第二网板和所述第三网板的短边端均与所述阳极框的短边端固定连接。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型具有防崩膜功能的PVD沉积室通过增加Z字型的金属网罩，可以对侧遮板和主气管道产生的崩渣的活动范围进行有效的束缚，大大降低崩渣掉落的概率，进而提高产品良率。

附图说明

图1是本实用新型所述具有防崩膜功能的PVD沉积室的结构示意图；

图2是本实用新型所述阳极框的俯视图；

图3是本实用新型所述金属网罩的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1、图2和图3所示，本实用新型具有防崩膜功能的PVD沉积室，包括阴极1、阳极框2、主气管道3、侧遮板4、基板5和金属网罩6，阴极1、阳极框2和基板5从上到下依次平行设置，侧遮板4水平设置在阳极框2内侧的两长边端，主气管道3设置在侧遮板4的上方，金属网罩6包括第一网板7、第二网板8和第三网板9，第一网板7与主气管道3的上弧相切，且第一网板7的第一长边端与阳极框2连接，第三网板9附着在侧遮板4的上侧面，第二网板8与基板5垂直设置，且第二网板8的第一长边端与第一网板7的第二长边端连接，第二网板8的第二长边端与第三网板9的第一长边端连接，金属网罩6的个数为两个，且分别设置在两个侧遮板4的上方，第二网板8的宽度与主气管道3的直径相等，第一网板7的宽度与第三网板9的宽度之和小于侧遮板4的宽度，第一网板7、第二网板8和第三网板9的短边端均与阳极框2的短边端固定连接。

本实用新型具有防崩膜功能的PVD沉积室的工作原理如下：

其中第一网板7、第二网板8和第三网板9采用的金属网网孔大小适中，能保证主气管道3内的气体能够顺畅流通，当由于阳极框2和所镀膜层材质的热膨胀系数不同，所镀膜层积累到一定程度会从腔室的侧遮板4和主气管道3发生膜层崩落，此时崩落的膜层会被金属网罩6阻挡，不会掉落至基板5上。

本实用新型的技术方案不限于上述具体实施例的限制，凡是根据本实用新型的技术方案做出的技术变形，均落入本实用新型的保护范围之内。