[实用新型]一种无水电镀装置有效
| 申请号： | 201420568216.3 | 申请日： | 2014-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN204224691U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 白奇玄;白易巧;白林巧 | 申请（专利权）人： | 浙江经立五金机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314500 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 无水 电镀 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种无水电镀装置，其特征在于，包括：
主机体，所述主机体的内部设有密闭的工作腔室，所述工作腔室内安装有挂置架、蒸发源和通气管；
动力装置，所述动力装置与挂置架转动连接；
抽气负压装置，所述抽气负压装置与工作腔室相连通，用于抽空工作腔室内部的空气使其处于无尘、无水气、低阻力密闭的工作状态；
离子源发生器，所述离子源发生器与位于所述主机体内部的离子源板连接；
电器控制装置，所述电器控制装置分别与蒸发源、动力装置和抽气负压装置电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种无水电镀装置，其特征在于，还包括有流量控制开关，所述流量控制开关与通气管连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种无水电镀装置，其特征在于，所述挂置架具有架体和转动轴，所述转动轴通过轴承安装于主机体的底板上；转动轴的一端穿过底板并通过轴连接器与动力装置转动连接。
4.根据权利要求3所述的一种无水电镀装置，其特征在于，所述动力装置是伺服电机或步进电机。
5.根据权利要求1所述的一种无水电镀装置，其特征在于，所述蒸发源是镀膜磁控溅度靶或离子镀靶。
6.根据权利要求1或5所述的一种无水电镀装置，其特征在于，所述主机体内的蒸发源与离子源板平行设置，且被镀物挂件架位于其中间。
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