[实用新型]基于电机平移的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种基于电机平移的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器。

背景技术

激光加工技术作为先进制造技术之一，在传统产业改造、加工技术革新、国防信息化等方面发挥着重要作用，激光被誉为万能加工工具、未来制造系统的共同加工手段。例如近年来，广泛应用于薄钢板、不锈钢、铝合金板、硬质合金等金属材料的切割、打标、冲孔的1064nm红外激光加工系统；以及最近几年逐渐兴起用于LED显示屏、手机面板、液晶面板、陶瓷、玻璃、PCB板、太阳能电池片等非金属材料的切割、钻孔的355nm紫外激光加工系统。

但是目前大部分激光器要么是单一波长输出，例如，专利CN201310389409.公开的一种全固态355nm激光器，要么是双波长同时输出，如专利CN02117364.8公开的红绿双波长激光器，不能自由切换选择某一波长输出，即使目前有选择波长输出的激光器也是几种波长分几路分别同时输出，相当于几台激光器同时使用，无法实现一棒多波长输出技术，使得激光器应用起来比较繁琐，不利于工业化现场的应用。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种基于电机平移的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，可根据需要改变输出波长，满足加工的多样性需要，效率高，成本低。

为实现上述目的，本实用新型提供一种基于电机平移的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，包括依次布置并构成一条光路的泵浦源、耦合镜、全反镜、激光晶体和Q开关，还包括1064nm激光选择镜和355nm激光选择镜，所述的1064nm激光选择镜的光轴和355nm激光选择镜的光轴通过一个往复平移的波长自由切换机构可选择地与所述的泵浦源、耦合镜、全反镜、激光晶体和Q开关构成的光路的光轴重合。

作为本实用新型的进一步改进，所述的波长自由切换机构是一个安装模块，所述的1064nm激光选择镜和355nm激光选择镜均安装在该安装模块内。

作为本实用新型的更进一步改进，所述的安装模块内还安装有二倍晶体、三倍晶体、凹面镜、第一反射镜和第二反射镜，所述的355nm激光选择镜、二倍晶体、三倍晶体和凹面镜均倾斜设置，所述的355nm激光选择镜的入射光线与所述的泵浦源、耦合镜、全反镜、激光晶体和Q开关构成的光路的光轴重合，所述的355nm激光选择镜的反射光线依次经过二倍晶体、三倍晶体和凹面镜反射，所述的355nm激光选择镜的出射光线通过第一反射镜和第二反射镜输出，所述的355nm激光选择镜的反射光线与所述的泵浦源、耦合镜、全反镜、激光晶体和Q开关构成的光路的光轴呈V字形夹角。

作为本实用新型的更进一步改进，所述安装模块连接至电机。

作为本实用新型的更进一步改进，所述的凹面镜为平凹镜，凹面曲率半径为50mm，凹面镀有1064nm、532nm、355nm高反膜。

作为本实用新型的更进一步改进，所述的1064nm激光选择镜是1064nm输出镜，所述的1064nm输出镜为平面输出镜，镀有1064nm透过率30％的膜。

作为本实用新型的更进一步改进，所述的355nm激光选择镜是为平凹镜，凹面曲率半径为200mm，凹面镀有1064nm、532nm高反膜和355nm增透膜，平面镀有355nm高透膜。

作为本实用新型的更进一步改进，所述的泵浦源的输出功率为30W，中心波长808nm；所述的耦合镜由两片式透镜组成，两片透镜都镀有808nm增透膜，放大比例为1:2；所述的全反镜为平面镜，它的左面镀有808nm增透膜，右面镀有808nm、1064nm高反膜；所述的激光晶体采用Nd:YAG晶体，掺杂浓度0.3％,规格3×3×10mm，两面镀有1064nm增透膜；所述的Q开关的超声频率40.68MHz，射频功率20W，双面镀有1064nm增透膜；所述的二倍晶体为LBO晶体，规格为3×3×20mm,双面镀有1064nm、532nm、355nm增透膜，采用I临界相位匹配方式，切割角(θ＝90°，Φ＝12°)；所述的三倍晶体规格为3×3×15mm，双面镀有1064nm、532nm、355nm增透膜，采用II类临界相位匹配方式，切割角(θ＝43.69°，Φ＝90°)；所述的第一反射镜、第二反射镜镀1064nm、355nm高反膜。

与现有技术相比，本实用新型的基于电机平移的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器具有如下优点：